Көбүнчө CVD реакциялары жогорку температурага таянат, демек, термикалык дүүлүктүрүлгөн химиялык буу туташтыруу (TCVD) деп аталат.Ал көбүнчө органикалык эмес прекурсорлорду колдонот жана ысык жана муздак дубал реакторлорунда аткарылат.Анын ысытуу ыкмаларына радиожыштык (RF) жылытуу, инфракызыл нурлануу жылытуу, каршылык жылытуу ж.б.
Ысык дубалдын химиялык буусу
Чынында, ысык дубал химиялык буу чөктүрүүчү реактор үзгүлтүктүү өндүрүш үчүн, адатта, каршылык элементтери менен жылытылган термостатикалык меш болуп саналат.Чип инструменттерин каптоо үчүн ысык дубалга химиялык буу чыгаруучу жайдын чиймелери төмөндөгүдөй көрсөтүлгөн.Бул ысык дубалдын химиялык буусу TiN, TiC, TiCN жана башка жука тасмаларды капташы мүмкүн.Реактор жетишерлик чоң, андан кийин көп сандагы компоненттерди кармай тургандай кылып иштелип чыгышы мүмкүн жана шарттарды коюу үчүн абдан так көзөмөлдөнсө болот.1-сүрөттө жарым өткөргүчтүү түзүлүштөрдү өндүрүүдө кремнийди аралаштыруу үчүн эпитаксиалдык катмар аппараты көрсөтүлгөн.мешке субстрат бөлүкчөлөр менен кендин бетинин булганышын азайтуу үчүн тик багытта жайгаштырылат, жана абдан өндүрүш жүктөө жогорулатуу.Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн ысык дубалдуу реакторлор көбүнчө төмөнкү басымда иштешет.
Билдирүү убактысы: 2022-жылдын 08-ноябры