Жалпысынан жүрөк-кан тамыр реакциялары жогорку температурага таянат, ошондуктан термикалык дүүлүктүрүлгөн химиялык буу чөктүрүү (TCVD) деп аталат. Ал жалпысынан органикалык эмес прекурсорлорду колдонот жана ысык дубалдуу жана муздак дубалдуу реакторлордо жүргүзүлөт. Анын ысытуу ыкмаларына радио жыштыктагы (RF) жылытуу, инфракызыл нурлануу менен жылытуу, каршылык менен жылытуу ж.б. кирет.
Ысык дубалга химиялык бууларды жайгаштыруу
Чындыгында, ысык дубалдагы химиялык буу чөктүрүү реактору - бул үзгүлтүктүү өндүрүш үчүн, адатта, каршылык элементтери менен ысытылган термостатикалык меш. Чип куралын каптоо үчүн ысык дубалдагы химиялык буу чөктүрүү өндүрүш жайынын чиймеси төмөндө көрсөтүлгөн. Бул ысык дубалдагы химиялык буу чөктүрүү TiN, TiC, TiCN жана башка жука пленкаларды каптай алат. Реакторду жетиштүү чоңдукта долбоорлоого болот жана көп сандагы компоненттерди батыра алат жана чөктүрүү шарттарын абдан так башкарууга болот. 1-сүрөттө жарым өткөргүч түзүлүштөрдү өндүрүүдө кремнийди легирлөө үчүн эпитаксиалдык катмар түзүлүшү көрсөтүлгөн. Мештеги субстрат чөктүрүү бетинин бөлүкчөлөр менен булганышын азайтуу жана өндүрүштүк жүктөмдү бир топ көбөйтүү үчүн вертикалдуу багытта жайгаштырылган. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн ысык дубалдагы реакторлор, адатта, төмөнкү басымда иштейт.
Жарыяланган убактысы: 2022-жылдын 8-ноябры