በሙቀት የተሞላ የኬሚካል ትነት ክምችት

በአጠቃላይ የሲቪዲ ግብረመልሶች በከፍተኛ ሙቀት ላይ የተመሰረቱ ናቸው፣ ስለዚህም በሙቀት የተሞላ የኬሚካል ትነት ክምችት (TCVD) ይባላል። በአጠቃላይ ኢንኦርጋኒክ ፕሪኩዌሮችን ይጠቀማል እና በሙቅ ግድግዳ እና በቀዝቃዛ ግድግዳ ሬአክተሮች ውስጥ ይከናወናል። የሚሞቁ ዘዴዎቹ የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ (RF) ማሞቂያ፣ የኢንፍራሬድ ጨረር ማሞቂያ፣ የመቋቋም ማሞቂያ፣ ወዘተ ያካትታሉ።

የሙቅ ግድግዳ የኬሚካል ትነት ክምችት
እንደ እውነቱ ከሆነ፣ የሙቅ ግድግዳ ኬሚካል ትነት ማስቀመጫ ሬአክተር ብዙውን ጊዜ በተከላካይ ንጥረ ነገሮች የሚሞቅ ቴርሞስታቲክ ምድጃ ሲሆን ይህም ለቺፕ መሳሪያ ሽፋን የሚሆን የሙቅ ግድግዳ ኬሚካል ትነት ማስቀመጫ ማምረቻ ተቋም ስዕል እንደሚከተለው ይታያል። ይህ የሙቅ ግድግዳ ኬሚካል ትነት ማስቀመጫ TiN፣ TiC፣ TiCN እና ሌሎች ቀጭን ፊልሞችን ሊሸፍን ይችላል። ሬአክተሩ በቂ መጠን እንዲኖረው ተደርጎ ሊነደፍ እና ብዙ ክፍሎችን እንዲይዝ ሊደረግ ይችላል፣ እና ሁኔታዎቹ ለማጠራቀሚያ በጣም በትክክል ሊቆጣጠሩ ይችላሉ። ስዕል 1 የሴሚኮንዳክተር መሳሪያ ምርትን በሲሊኮን ዶፒንግ ለማድረግ የሚያስችል የኤፒታክሲያል ንብርብር መሳሪያ ያሳያል። በምድጃው ውስጥ ያለው ንጣፍ በንጥረ ነገሮች የተከማቸውን ወለል ብክለት ለመቀነስ እና የምርት ጭነቱን በእጅጉ ለመጨመር በአቀባዊ አቅጣጫ ይቀመጣል። ለሴሚኮንዳክተር ምርት የሙቅ ግድግዳ ሬአክተሮች ብዙውን ጊዜ በዝቅተኛ ግፊት ይሰራሉ።