በሙቀት የተሞላ የኬሚካል ትነት ክምችት

በአጠቃላይ የሲቪዲ ምላሾች በከፍተኛ ሙቀቶች ላይ ይመረኮዛሉ, ስለዚህም በሙቀት ስሜት የሚቀሰቀስ የኬሚካል ትነት ክምችት (TCVD) ይባላል.በአጠቃላይ ኦርጋኒክ ያልሆኑ ቅድመ-ቅጦችን ይጠቀማል እና በሙቅ ግድግዳ እና በቀዝቃዛ ግድግዳ ማሞቂያዎች ውስጥ ይከናወናል.የእሱ ማሞቂያ ዘዴዎች የሬድዮ ፍሪኩዌንሲ (RF) ማሞቂያ, የኢንፍራሬድ ጨረር ማሞቂያ, የመቋቋም ማሞቂያ, ወዘተ.

የሙቅ ግድግዳ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ
እንደ እውነቱ ከሆነ የሙቅ ግድግዳ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ ሬአክተር ቴርሞስታቲክ እቶን ነው ፣ ብዙውን ጊዜ በተከላካይ ንጥረ ነገሮች ይሞቃል ፣ ለጊዜያዊ ምርት።የሙቅ ግድግዳ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ ማምረቻ ቦታን ለቺፕ መሳሪያ ሽፋን መሳል እንደሚከተለው ቀርቧል።ይህ የሙቅ ግድግዳ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ክምችት ቲኤንን፣ ቲሲን፣ ቲሲኤን እና ሌሎች ቀጭን ፊልሞችን ሊለብስ ይችላል።ሬአክተሩ በበቂ መጠን ሊነደፍ ይችላል ከዚያም ብዙ አካላትን ይይዛል፣ እና ሁኔታዎቹ ለማስቀመጥ በጣም በትክክል ሊቆጣጠሩ ይችላሉ።ምስል 1 ሴሚኮንዳክተር መሳሪያ ምርትን ለሲሊኮን ዶፒንግ ኤፒታክሲያል ንብርብር መሳሪያ ያሳያል።በምድጃው ውስጥ ያለው ንጥረ ነገር በንጣፎች የተከማቸበትን ቦታ መበከል ለመቀነስ እና የምርት ጭነትን በከፍተኛ ሁኔታ ለመጨመር በአቀባዊ አቅጣጫ ይቀመጣል።ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ የሚሆን ሙቅ-ግድግዳ ማሞቂያዎች በአብዛኛው የሚሠሩት በዝቅተኛ ግፊት ነው.