Odatda CVD reaktsiyalari yuqori haroratga tayanadi, shuning uchun termal qo'zg'atilgan kimyoviy bug'larning cho'kishi (TCVD) deb ataladi.Odatda noorganik prekursorlardan foydalanadi va issiq devorli va sovuq devorli reaktorlarda amalga oshiriladi.Uning isitish usullariga radiochastota (RF) isitish, infraqizil radiatsiya isitish, qarshilik isitish va boshqalar kiradi.
Issiq devor kimyoviy bug'ining cho'kishi
Haqiqatan ham, issiq devorli kimyoviy bug 'cho'kma reaktori - bu termostatik o'choq bo'lib, odatda rezistent elementlar bilan isitiladi, intervalgacha ishlab chiqarish uchun.Chip asbobini qoplash uchun issiq devorli kimyoviy bug 'cho'ktiruvchi ishlab chiqarish inshootining chizmasi quyidagicha ko'rsatilgan.Bu issiq devor kimyoviy bug'ining cho'kishi TiN, TiC, TiCN va boshqa nozik plyonkalarni qoplashi mumkin.Reaktor etarlicha katta bo'lishi uchun mo'ljallangan bo'lishi mumkin, keyin ko'p sonli komponentlarni ushlab turadi va sharoitlar cho'kish uchun juda aniq nazorat qilinishi mumkin.1-rasmda yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarish uchun kremniy doping uchun epitaksial qatlam qurilmasi ko'rsatilgan.Cho'kma yuzasining zarrachalar bilan ifloslanishini kamaytirish va ishlab chiqarish yukini sezilarli darajada oshirish uchun pechdagi substrat vertikal yo'nalishda joylashtiriladi.Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uchun issiq devorli reaktorlar odatda past bosimlarda ishlaydi.
Yuborilgan vaqt: 2022 yil 08-noyabr