Kaydinta uumiga kiimikada ee kuleylka ku kacsan

Guud ahaan falcelinta CVD waxay ku tiirsan tahay heerkul sare, sidaa darteed waxaa loogu yeeraa kaydinta uumiga kiimikada ee kuleylka ku kacsan (TCVD). Guud ahaan waxay isticmaashaa horudhac aan dabiici ahayn waxaana lagu sameeyaa fal-galayaasha derbiga kulul iyo kuwa derbiga qabow. Hababka kululaynta waxaa ka mid ah kuleylinta raadiyaha (RF), kuleylinta shucaaca infrared, kuleylinta iska caabbinta, iwm.

Kaydinta uumiga kiimikada ee derbiga kulul
Dhab ahaantii, fal-galiyaha kaydinta uumiga kiimikada ee derbiga kulul waa foorno heerkulbeeg ah, oo badanaa lagu kululeeyo walxo iska caabiya, si loo soo saaro si aan kala go 'lahayn. Sawirka xarunta wax soo saarka kaydinta uumiga kiimikada ee derbiga kulul ee loogu talagalay dahaarka qalabka jajabka ayaa lagu muujiyay sida soo socota. Fadhigan uumiga kiimikada ee derbiga kulul wuxuu dabooli karaa TiN, TiC, TiCN iyo filimaan kale oo khafiif ah. Fal-galiyaha waxaa loo qaabeyn karaa inuu ku filan yahay ka dibna uu hayo tiro badan oo qaybo ah, xaaladahana si sax ah ayaa loo xakamayn karaa fadhigga. Sawirka 1 wuxuu muujinayaa qalab lakab epitaxial ah oo loogu talagalay doping silicon ee wax soo saarka qalabka semiconductor. Substrate-ka foornada waxaa la dhigayaa jihada toosan si loo yareeyo wasakheynta dusha sare ee faddaraynta iyadoo la adeegsanayo walxaha, iyo si weyn loo kordhiyo rarista wax soo saarka. Fal-galayaasha derbiga kulul ee wax soo saarka semiconductor-ka waxaa badanaa lagu shaqeeyaa cadaadis hooseeya.