A CVD-reakciók általában magas hőmérsékleten alapulnak, ezért termikusan gerjesztett kémiai gőzleválasztásnak (TCVD) nevezik.Általában szervetlen prekurzorokat használ, és meleg- és hidegfalú reaktorokban hajtják végre.Fűtött módszerei közé tartozik a rádiófrekvenciás (RF) fűtés, infravörös sugárzásos fűtés, ellenállásfűtés stb.
Forrófalú kémiai gőzleválasztás
Valójában a forrófalú kémiai gőzleválasztó reaktor egy termosztatikus kemence, amelyet általában rezisztív elemekkel fűtenek, szakaszos termelésre.A forgácsszerszámok bevonására szolgáló forrófalú vegyi gőzleválasztásos gyártó létesítmény rajza az alábbiakban látható.Ez a forró falú kémiai gőzleválasztás bevonhatja a TiN, TiC, TiCN és más vékony filmeket.A reaktor kellően nagyra tervezhető, és sok komponens befogadására alkalmas, és a leválasztás körülményei nagyon pontosan szabályozhatók.Az 1. képen egy epitaxiális rétegű eszköz látható a félvezető eszközök gyártásának szilícium adalékolásához.A kemencében lévő hordozót függőleges irányban helyezik el, hogy csökkentsék a lerakódási felület részecskékkel való szennyeződését, és nagymértékben növeljék a termelési terhelést.A félvezetőgyártáshoz használt forrófalú reaktorokat általában alacsony nyomáson üzemeltetik.
Feladás időpontja: 2022.11.08