Ümumiyyətlə CVD reaksiyaları yüksək temperatura əsaslanır, buna görə də termal həyəcanlı kimyəvi buxar çökmə (TCVD) adlanır.Ümumiyyətlə qeyri-üzvi prekursorlardan istifadə edir və isti divarlı və soyuq divarlı reaktorlarda həyata keçirilir.Onun qızdırılan üsullarına radio tezliyi (RF) isitmə, infraqırmızı radiasiya ilə qızdırma, müqavimətlə qızdırma və s.
İsti divarın kimyəvi buxarının çökməsi
Əslində, isti divarlı kimyəvi buxar çökmə reaktoru, aralıq istehsal üçün adətən rezistiv elementlərlə qızdırılan termostatik sobadır.Çip alətinin örtülməsi üçün isti divarlı kimyəvi buxar çökdürmə istehsalat qurğusunun təsviri aşağıdakı kimi göstərilmişdir.Bu isti divar kimyəvi buxar çökmə TiN, TiC, TiCN və digər nazik filmləri örtə bilər.Reaktor kifayət qədər böyük, sonra çoxlu sayda komponentləri saxlayacaq şəkildə dizayn edilə bilər və çöküntü üçün şərtlər çox dəqiq şəkildə idarə edilə bilər.Şəkil 1-də yarımkeçirici cihaz istehsalının silikon qatqıları üçün epitaksial təbəqə cihazı göstərilir.Çökmə səthinin hissəciklərlə çirklənməsini azaltmaq və istehsal yükünü çox artırmaq üçün sobadakı substrat şaquli istiqamətdə yerləşdirilir.Yarımkeçiricilərin istehsalı üçün isti divar reaktorları adətən aşağı təzyiqlərdə işləyir.
Göndərmə vaxtı: 08 noyabr 2022-ci il