Ümumiyyətlə, ÜD reaksiyaları yüksək temperatura əsaslanır və buna görə də termik həyəcanlanmış kimyəvi buxar çökməsi (TCVD) adlanır. Ümumiyyətlə, qeyri-üzvi prekursorlardan istifadə edir və isti divarlı və soyuq divarlı reaktorlarda aparılır. Onun qızdırılma üsullarına radiotezlikli (RF) qızdırma, infraqırmızı şüalanma ilə qızdırma, müqavimətli qızdırma və s. daxildir.
İsti divar kimyəvi buxar çöküntüsü
Əslində, isti divarlı kimyəvi buxar çökdürmə reaktoru, adətən fasiləli istehsal üçün rezistiv elementlərlə qızdırılan termostatik sobadır. Çip alət örtüyü üçün isti divarlı kimyəvi buxar çökdürmə istehsal müəssisəsinin təsviri aşağıdakı kimi göstərilir. Bu isti divarlı kimyəvi buxar çökdürmə TiN, TiC, TiCN və digər nazik təbəqələri örtməyə qadirdir. Reaktor kifayət qədər böyük və çox sayda komponenti saxlaya bilən şəkildə dizayn edilə bilər və çökdürmə üçün şərait çox dəqiq idarə oluna bilər. Şəkil 1-də yarımkeçirici cihaz istehsalında silikon aşqarlanması üçün epitaksial təbəqə cihazı göstərilir. Çökdürmə səthinin hissəciklərlə çirklənməsini azaltmaq və istehsal yükünü xeyli artırmaq üçün sobadakı substrat şaquli istiqamətdə yerləşdirilir. Yarımkeçirici istehsalı üçün isti divarlı reaktorlar adətən aşağı təzyiqlərdə işləyir.
Yazı vaxtı: 08 Noyabr 2022