பொதுவாக CVD வினைகள் உயர் வெப்பநிலையைச் சார்ந்துள்ளன, எனவே இது வெப்பத்தால் தூண்டப்பட்ட வேதி ஆவிப் படிவு (TCVD) என அழைக்கப்படுகிறது. இது பொதுவாக கனிம முன்னோடிகளைப் பயன்படுத்துகிறது மற்றும் சூடான சுவர் மற்றும் குளிர்ந்த சுவர் உலைகளில் நிகழ்த்தப்படுகிறது. இதன் வெப்பமூட்டும் முறைகளில் ரேடியோ அதிர்வெண் (RF) வெப்பமூட்டல், அகச்சிவப்புக் கதிர்வீச்சு வெப்பமூட்டல், மின்தடை வெப்பமூட்டல் போன்றவை அடங்கும்.
சூடான சுவர் இரசாயன ஆவி படிவு
உண்மையில், வெப்பச் சுவர் வேதி ஆவிப் படிவு உலை என்பது ஒரு வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாட்டு உலையாகும், இது பொதுவாக மின்தடைக் கூறுகளைக் கொண்டு, இடைப்பட்ட உற்பத்திக்காகச் சூடுபடுத்தப்படுகிறது. சில்லுக் கருவிப் பூச்சுக்கான வெப்பச் சுவர் வேதி ஆவிப் படிவு உற்பத்தி வசதியின் வரைபடம் பின்வருமாறு காட்டப்பட்டுள்ளது. இந்த வெப்பச் சுவர் வேதி ஆவிப் படிவு, TiN, TiC, TiCN மற்றும் பிற மெல்லிய படலங்களைப் பூச முடியும். உலையை அதிக எண்ணிக்கையிலான கூறுகளைத் தாங்கும் அளவுக்குப் பெரியதாக வடிவமைக்க முடியும், மேலும் படிவுக்கான நிலைமைகளை மிகத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்தவும் முடியும். படம் 1, குறைக்கடத்திச் சாதன உற்பத்தியில் சிலிக்கான் கலப்பு செய்வதற்கான ஒரு புறவளர்ச்சிப் படலச் சாதனத்தைக் காட்டுகிறது. துகள்களால் படிவுப் பரப்பு மாசுபடுவதைக் குறைக்கவும், உற்பத்திச் சுமையை வெகுவாக அதிகரிக்கவும் உலையில் உள்ள அடிமூலக்கூறு செங்குத்துத் திசையில் வைக்கப்படுகிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான வெப்பச் சுவர் உலைகள் பொதுவாகக் குறைந்த அழுத்தங்களில் இயக்கப்படுகின்றன.
பதிவிட்ட நேரம்: நவம்பர்-08-2022