Uwekaji wa mvuke wa kemikali unaosisimuliwa kwa joto

Kwa ujumla athari za CVD hutegemea halijoto ya juu, hivyo huitwa uwekaji wa mvuke wa kemikali unaosisimuliwa na joto (TCD). Kwa ujumla hutumia vitangulizi visivyo vya kikaboni na hufanywa katika vinu vya joto na ukuta baridi. Mbinu zake za kupasha joto ni pamoja na kupasha joto masafa ya redio (RF), kupasha joto mionzi ya infrared, kupasha joto kwa upinzani, n.k.

Uwekaji wa mvuke wa kemikali ya ukuta wa moto
Kwa kweli, kinu cha kuhifadhi mvuke wa kemikali cha ukuta wa moto ni tanuru ya joto, kwa kawaida huwashwa na vipengele vya kupinga, kwa ajili ya uzalishaji wa vipindi. Mchoro wa kituo cha uzalishaji wa kuhifadhi mvuke wa kemikali cha ukuta wa moto kwa ajili ya mipako ya zana za chip unaonyeshwa kama ifuatavyo. Kinu hiki cha kuhifadhi mvuke wa kemikali cha ukuta wa moto kinaweza kufunika TiN, TiC, TiCN na filamu zingine nyembamba. Kinu kinaweza kutengenezwa kwa ukubwa wa kutosha kisha kushikilia idadi kubwa ya vipengele, na hali zinaweza kudhibitiwa kwa usahihi sana kwa ajili ya kuhifadhi. Picha ya 1 inaonyesha kifaa cha safu ya epitaxial kwa ajili ya kutumia dawa ya silicon katika utengenezaji wa vifaa vya nusu mbili. Sehemu ndogo katika tanuru huwekwa katika mwelekeo wima ili kupunguza uchafuzi wa uso wa kuhifadhi na chembe, na kuongeza sana mzigo wa uzalishaji. Vinu vya kuhifadhia vya ukuta wa moto kwa ajili ya uzalishaji wa nusu mbili kwa kawaida huendeshwa kwa shinikizo la chini.