Gabaɗaya halayen CVD sun dogara ne akan yanayin zafi mai yawa, wanda shine dalilin da yasa ake kiransa da thermal excited chemical tururi deposition (TCVD). Gabaɗaya yana amfani da abubuwan da ba su da tsari kuma ana yin su a cikin na'urorin dumama bango mai zafi da sanyi. Hanyoyin da ake amfani da su sun haɗa da dumama mitar rediyo (RF), dumama radiation na infrared, dumama juriya, da sauransu.
Tarin tururin sinadarai mai zafi a bango
A zahiri, na'urar adana tururin sinadarai mai zafi tanderu ce mai zafi, wacce yawanci ake dumama ta da abubuwa masu juriya, don samarwa lokaci-lokaci. Zane na wurin samar da tururin sinadarai mai zafi don rufe kayan aikin guntu an nuna shi kamar haka. Wannan na'urar adana tururin sinadarai mai zafi ta bango na iya shafa TiN, TiC, TiCN da sauran siraran fina-finai. Ana iya tsara na'urar don ya girma sosai sannan ya riƙe adadi mai yawa na abubuwan haɗin, kuma ana iya sarrafa yanayin daidai don ajiya. Hoto na 1 yana nuna na'urar Layer epitaxial don yin amfani da silicon na samar da na'urar semiconductor. An sanya substrate a cikin tanderu a tsaye don rage gurɓatar saman ajiya ta hanyar barbashi, da kuma ƙara yawan samarwa. Na'urorin adana zafi don samar da semiconductor galibi ana aiki da su a ƙananan matsin lamba.
Lokacin Saƙo: Nuwamba-08-2022