ជាទូទៅ ប្រតិកម្ម CVD ពឹងផ្អែកលើសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដូច្នេះវាត្រូវបានគេហៅថា ការដាក់ចំហាយគីមីដែលរំភើបដោយកម្ដៅ (TCVD)។ ជាទូទៅវាប្រើសារធាតុបឋមអសរីរាង្គ ហើយត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងរ៉េអាក់ទ័រជញ្ជាំងក្តៅ និងជញ្ជាំងត្រជាក់។ វិធីសាស្ត្រកំដៅរបស់វារួមមាន កំដៅប្រេកង់វិទ្យុ (RF) កំដៅវិទ្យុសកម្មអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ កំដៅធន់ទ្រាំ ជាដើម។
ការដាក់ចំហាយគីមីជញ្ជាំងក្តៅ
តាមពិតទៅ រ៉េអាក់ទ័រដាក់ចំហាយគីមីជញ្ជាំងក្តៅ គឺជាឡចំហាយដែលមានទែម៉ូស្តាទិច ជាធម្មតាត្រូវបានកំដៅជាមួយធាតុធន់ទ្រាំ សម្រាប់ការផលិតមិនទៀងទាត់។ គំនូរនៃរោងចក្រផលិតដាក់ចំហាយគីមីជញ្ជាំងក្តៅសម្រាប់ការស្រោបឧបករណ៍បន្ទះឈីបត្រូវបានបង្ហាញដូចខាងក្រោម។ ការដាក់ចំហាយគីមីជញ្ជាំងក្តៅនេះអាចស្រោប TiN, TiC, TiCN និងខ្សែភាពយន្តស្តើងផ្សេងទៀត។ រ៉េអាក់ទ័រអាចត្រូវបានរចនាឡើងឱ្យធំល្មម បន្ទាប់មកអាចផ្ទុកសមាសធាតុមួយចំនួនធំ ហើយលក្ខខណ្ឌអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់សម្រាប់ការដាក់។ រូបភាពទី 1 បង្ហាញឧបករណ៍ស្រទាប់អេពីតាស៊ីលសម្រាប់ការបញ្ចូលស៊ីលីកុននៃការផលិតឧបករណ៍ពាក់កណ្តាលសៀគ្វី។ ស្រទាប់ខាងក្រោមនៅក្នុងឡត្រូវបានដាក់ក្នុងទិសដៅបញ្ឈរដើម្បីកាត់បន្ថយការបំពុលផ្ទៃដាក់ដោយភាគល្អិត និងបង្កើនបន្ទុកផលិតកម្មយ៉ាងខ្លាំង។ រ៉េអាក់ទ័រជញ្ជាំងក្តៅសម្រាប់ការផលិតពាក់កណ្តាលសៀគ្វីជាធម្មតាត្រូវបានដំណើរការនៅសម្ពាធទាប។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែវិច្ឆិកា-០៨-២០២២