Püskürme – bu energiýa bölejikleriniň (köplenç gazlaryň oňyn ionlarynyň) gaty jisimiň (aşakda nyşana material diýlip atlandyrylýar) ýüzüne urulmagy we nyşana materialyň ýüzündäki atomlaryň (ýa-da molekulalaryň) ondan çykmagyna sebäp bolýan hadysadyr.
Bu hadysa 1842-nji ýylda Grouw tarapyndan katodik korroziýa öwrenmek üçin geçirilen synag wagtynda katod materialy wakuum turbasynyň diwaryna geçirilende ýüze çykaryldy. Bu püskürtme usuly inçe plyonkalary substrat çökündisinde 1877-nji ýylda açyldy, bu usulyň ulanylmagy sebäpli inçe plyonkalary çökdürmegiň irki tapgyrlarynda püskürtme tizligi pes, plyonka tizligi haýal, ýokary basyşly enjamda gurnalmaly we täsirli gaza geçmeli we başga-da birnäçe meseleler ýüze çykýar, şonuň üçin ösüş örän haýal we diýen ýaly aradan aýryldy, diňe himiki taýdan reaksiýa girýän gymmat bahaly metallarda, ot çydamly metallarda, dielektriklerde we himiki birleşmelerde, az sanly ulanylyşlarda materiallarda ulanylýar. 1970-nji ýyllara çenli magnetron püskürtme tehnologiýasynyň peýda bolmagy sebäpli püskürtme örtügi çalt ösdürilip, ýoluň täzeden dikeldilmegine girdi. Sebäbi magnetron püskürtme usuly elektronlardaky ortogonal elektromagnit meýdan bilen çäklendirilip bilner, bu bolsa elektronlaryň we gaz molekulalarynyň çaknyşmagynyň ähtimallygyny ýokarlandyrýar, diňe bir katoda goşulýan naprýaženiýeni azaltmak bilen çäklenmän, eýsem nyşana katoddaky oňyn ionlaryň püskürtme tizligini ýokarlandyrýar, substratda elektronlaryň bombardman edilmeginiň ähtimallygyny azaldýar we şeýdip onuň temperaturasyny peseldýär, "ýokary tizlik, pes temperatura" bilen. "Ýokary tizlik we pes temperatura" iki esasy häsiýetnama.
1980-nji ýyllara çenli, bary-ýogy on iki ýyl ýaly görünse-de, ol laboratoriýadan tapawutlanýar, hakykatdanam senagatlaşdyrylan köpçülikleýin önümçilik ulgamyna girýär. Ylmyň we tehnologiýanyň mundan beýläk-de ösmegi bilen, soňky ýyllarda püskürtme örtügi we ion şöhlesiniň güýçlendirilen püskürtmesiniň ornaşdyrylmagy bilen, güýçli tok ion çeşmesiniň giň şöhlesiniň ulanylmagy magnit meýdanynyň modulýasiýasy bilen utgaşdyryldy we täze püskürtme režiminden ybarat bolan adaty dipol püskürtmesiniň utgaşdyrylmagy bilen; we magnetron püskürtme nyşana çeşmesine orta ýygylykly üýtgeýän tok energiýa üpjünçiliginiň girizilmegi bolar. Iki nyşana püskürtme diýlip atlandyrylýan bu orta ýygylykly AC magnetron püskürtme tehnologiýasy diňe bir anodyň "ýitmek" täsirini aradan aýyrmak bilen çäklenmän, eýsem katodyň "zäherlenme" meselesini hem çözýär, bu bolsa magnetron püskürtmesiniň durnuklylygyny ep-esli gowulandyrýar we birleşme inçe plýonkalaryň senagatlaşdyrylan önümçiligi üçin berk esas döredýär. Bu magnetron püskürtmegiň durnuklylygyny ep-esli gowulandyrdy we birleşen inçe plýonkalaryň senagatlaşdyrylan önümçiligi üçin berk esas döretdi. Soňky ýyllarda püskürtme örtügi wakuum örtük tehnologiýasy ulgamynda işjeň ulanylýan, täze peýda bolýan plýonka taýýarlamak tehnologiýasyna öwrüldi.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 5-nji dekabry