Ny "sputtering" dia trangan-javatra iray izay idonan'ny poti-kery (matetika iôna miabo amin'ny entona) amin'ny velaran'ny zavatra mafy orina (antsoina hoe fitaovana kendrena etsy ambany), ka mahatonga ny atôma (na molekiola) eo amin'ny velaran'ny zavatra kendrena handositra azy.
Hitan'i Grove tamin'ny 1842 ity tranga ity rehefa nafindra tany amin'ny rindrin'ny fantsona banga ny akora katôda nandritra ny andrana natao handinihana ny harafesina katôdika. Hita tamin'ny 1877 ity fomba famafazana amin'ny fametrahana sarimihetsika manify ity, noho ny fampiasana ity fomba ity amin'ny fametrahana sarimihetsika manify amin'ny dingana voalohany dia ambany ny tahan'ny famafazana, miadana ny hafainganam-pandehan'ny sarimihetsika, tsy maintsy apetraka ao anaty fitaovana misy tsindry avo lenta ary mandalo amin'ny entona mampihetsi-po sy andiana olana hafa, ka miadana be ny fivoarana ary saika foana, fa amin'ny metaly sarobidy mihetsika simika, metaly tsy mety levona, dielectrics, ary akora simika ihany, fitaovana amin'ny fampiharana vitsivitsy. Hatramin'ny taona 1970, noho ny fipoiran'ny teknolojia famafazana magnetron, dia nivoatra haingana ny coating famafazana, ary nanomboka niditra tamin'ny famerenana amin'ny laoniny ny lalana. Izany dia satria ny fomba fanindronana magnetron dia mety ho voafetra amin'ny sehatry ny elektromagnetika orthogonal amin'ny elektrôna, izay mampitombo ny mety hisian'ny fifandonana eo amin'ny elektrôna sy ny molekiola entona, tsy vitan'ny hoe mampihena ny voltase ampiana amin'ny cathode, fa manatsara ny tahan'ny fanindronana ny ionina tsara amin'ny cathode kendrena, mampihena ny mety hisian'ny baomba ataon'ny elektrôna amin'ny substrate, ka mampihena ny mari-pana, miaraka amin'ny "hafainganam-pandeha avo lenta, mari-pana ambany Ny toetra roa lehibe amin'ny "hafainganam-pandeha avo lenta sy mari-pana ambany".
Na dia vao roa ambin'ny folo taona monja aza no nisehoany tamin'ny taona 1980, dia niavaka tamin'ny laboratoara izy io, tena niditra tao amin'ny sehatry ny famokarana faobe indostrialy. Miaraka amin'ny fivoaran'ny siansa sy ny teknolojia, tato anatin'ny taona vitsivitsy, teo amin'ny sehatry ny coating sputtering sy ny fampidirana ny sputtering nohatsaraina tamin'ny taratra ion, ny fampiasana taratra malalaka amin'ny loharanon'ny courant ion mahery vaika miaraka amin'ny modulation andriamby, ary miaraka amin'ny fampifangaroana ny sputtering dipole mahazatra izay ahitana fomba sputtering vaovao; ary ho fampidirana ny famatsiana herinaratra amin'ny courant intermediate-frequency amin'ny loharanon'ny magnetron sputtering. Ity teknolojia magnetron sputtering AC medium-frequency ity, antsoina hoe twin target sputtering, dia tsy vitan'ny hoe manafoana ny vokatry ny "fanjavonan'ny" anode, fa mamaha ihany koa ny olan'ny "fanapoizinana" amin'ny cathode, izay manatsara be ny fahamarinan'ny magnetron sputtering, ary manome fototra matanjaka ho an'ny famokarana indostrialy ny sarimihetsika manify mifangaro. Izany dia nanatsara be ny fahamarinan'ny magnetron sputtering ary nanome fototra matanjaka ho an'ny famokarana indostrialy ny sarimihetsika manify mifangaro. Tato anatin'ny taona vitsivitsy, ny sputtering coating dia lasa teknolojia vao misondrotra mafana amin'ny fanomanana sarimihetsika, izay mavitrika eo amin'ny sehatry ny teknolojia vacuum coating.
–Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 05 Desambra 2023