Kutema mate ni jambo ambalo chembe zenye nguvu (kawaida ioni chanya za gesi) hugonga uso wa kitu kigumu (chini kinachoitwa nyenzo lengwa), na kusababisha atomi (au molekuli) kwenye uso wa nyenzo lengwa kutoroka kutoka humo.
Jambo hili liligunduliwa na Grove mnamo 1842 wakati nyenzo za cathode zilihamishiwa kwenye ukuta wa bomba la utupu wakati wa jaribio la kusoma kutu kwa kathodi. Njia hii ya kunyunyizia katika uwekaji wa substrate wa filamu nyembamba iligunduliwa mnamo 1877, kutokana na matumizi ya njia hii, uwekaji wa filamu nyembamba katika hatua za mwanzo za kiwango cha kunyunyizia ni cha chini, kasi ya filamu polepole, lazima iwekwe kwenye kifaa cha shinikizo kubwa na kupita kwenye gesi inayoambukiza na matatizo mengine kadhaa, kwa hivyo maendeleo ni polepole sana na karibu yameondolewa, tu katika metali za thamani zinazoathiriwa na kemikali, metali zinazokinza, dielektriki, na misombo ya kemikali, vifaa vilikuwa na idadi ndogo ya matumizi. Hadi miaka ya 1970, kutokana na kuibuka kwa teknolojia ya kunyunyizia magnetron, mipako ya kunyunyizia imekuwa ikiendelezwa haraka, ilianza kuingia katika ufufuo wa barabara. Hii ni kwa sababu mbinu ya kunyunyizia sumaku ya magnetroni inaweza kuzuiwa na uwanja wa sumakuumeme wa orthogonal kwenye elektroni, na kuongeza uwezekano wa mgongano wa elektroni na molekuli za gesi, sio tu kupunguza voltage inayoongezwa kwenye kathodi, na kuboresha kiwango cha kunyunyizia cha ioni chanya kwenye kathodi inayolengwa, kupunguza uwezekano wa kupigwa kwa elektroni kwenye substrate, na hivyo kupunguza halijoto yake, kwa "kasi ya juu, halijoto ya chini Sifa kuu mbili za "kasi ya juu na halijoto ya chini".
Hadi miaka ya 1980, ingawa ilionekana miaka kumi na miwili tu, inajitokeza kutoka maabara, haswa katika uwanja wa uzalishaji wa wingi wa viwanda. Pamoja na maendeleo zaidi ya sayansi na teknolojia, katika miaka ya hivi karibuni katika uwanja wa mipako ya kunyunyizia na kuanzishwa kwa boriti ya ioni kuimarishwa kwa kunyunyizia, matumizi ya boriti pana ya chanzo cha ioni chenye nguvu ya mkondo pamoja na moduli ya uwanja wa sumaku, na pamoja na mchanganyiko wa kunyunyizia kawaida kwa dipole iliyojumuisha hali mpya ya kunyunyizia; na itakuwa kuanzishwa kwa usambazaji wa umeme wa mkondo mbadala wa masafa ya kati kwa chanzo lengwa la kunyunyizia sumaku la magnetron. Teknolojia hii ya kunyunyizia sumaku ya AC ya masafa ya kati, inayoitwa kunyunyizia shabaha pacha, sio tu kwamba huondoa athari ya "kutoweka" ya anodi, lakini pia hutatua tatizo la "sumu" la cathode, ambalo huboresha sana utulivu wa kunyunyizia sumaku, na hutoa msingi imara wa uzalishaji wa filamu nyembamba za misombo. Hii imeboresha sana utulivu wa kunyunyizia sumaku na kutoa msingi imara wa uzalishaji wa filamu nyembamba za misombo. Katika miaka ya hivi karibuni, mipako ya kunyunyizia maji imekuwa teknolojia inayoibuka ya utayarishaji wa filamu, inayofanya kazi katika uwanja wa teknolojia ya mipako ya utupu.
– Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua
Muda wa chapisho: Desemba-05-2023