Mkpuchi Mkpuchi Agụụ Sputtering na Mmepe

Ntufu bụ ihe na-eme ka ihe ndị na-arụ ọrụ ike (nke na-abụkarị ion gas dị mma) daa n'elu ihe siri ike (nke a na-akpọ ihe a na-achọ n'okpuru), na-eme ka atọm (ma ọ bụ molekul) dị n'elu ihe a na-achọ n'elu ya gbapụ.

Grove chọpụtara ihe a na 1842 mgbe e bufere ihe cathode na mgbidi nke tube vacuum n'oge nnwale iji mụọ corrosion cathodic. A chọpụtara usoro sputtering a na substrate nke ihe nkiri dị gịrịgịrị na 1877, n'ihi ojiji nke usoro a, a ga-etinye ihe nkiri dị gịrịgịrị na mmalite nke ọsọ sputtering dị ala, ọsọ fim dị nwayọ, a ga-etinyerịrị ya na ngwaọrụ nke nrụgide dị elu ma banye n'ime gas mmetụta na usoro nsogbu ndị ọzọ, yabụ mmepe ahụ dị nwayọ ma fọrọ nke nta ka ọ kwụsị, naanị na ọla dị oké ọnụ ahịa nke kemịkalụ, ọla ndị na-adịghị mma, dielectrics, na kemịkalụ, ihe ndị dị na obere ngwa. Ruo afọ 1970, n'ihi mpụta nke teknụzụ sputtering magnetron, e mepụtala mkpuchi sputtering ngwa ngwa, malitere ịbanye na mmalite nke ụzọ ahụ. Nke a bụ n'ihi na enwere ike igbochi usoro ntụgharị magnetron site na orthogonal electromagnetic field na electrons, na-eme ka ohere nke nkukota nke elektrọn na molekul gas dịkwuo elu, ọ bụghị naanị na ọ na-ebelata voltaji agbakwunyere na cathode, ma melite ọnụego sputtering nke ion dị mma na cathode ebumnuche, na-ebelata ohere nke bọmbụ nke elektrọn na substrate, si otú a na-ebelata okpomọkụ ya, na "ọsọ dị elu, obere okpomọkụ. Ihe abụọ bụ isi nke "ọsọ dị elu na obere okpomọkụ".

Ruo afọ 1980, ọ bụ ezie na ọ pụtara naanị afọ iri na abụọ, ọ pụtara ìhè site na ụlọ nyocha, n'ezie n'ọhịa nke mmepụta ihe dị ukwuu n'ime ụlọ ọrụ mmepụta ihe. Site na mmepe sayensị na teknụzụ, n'afọ ndị na-adịbeghị anya n'ọhịa nke mkpuchi sputtering na ntinye nke ion beam emelitere sputtering, ojiji nke nnukwu oghere nke isi iyi ion ugbu a siri ike jikọtara ya na modulation ubi magnetik, yana njikọta nke sputtering dipole nkịtị nke mejupụtara ụdị sputtering ọhụrụ; ọ ga-abụkwa mmalite nke ọkụ eletrik na-agbanwe agbanwe ugboro ugboro na isi iyi ebumnuche magnetron sputtering. Teknụzụ sputtering AC nke etiti ugboro ugboro a, nke a na-akpọ twin target sputtering, ọ bụghị naanị na ọ na-ewepụ mmetụta "nsị" nke anode, kamakwa ọ na-edozi nsogbu "nsị" nke cathode, nke na-eme ka nkwụsi ike nke magnetron sputtering dịkwuo mma, ma na-enye ntọala siri ike maka mmepụta nke fim dị gịrịgịrị mejupụtara ụlọ ọrụ mmepụta ihe. Nke a emeela ka nkwụsi ike nke magnetron sputtering dịkwuo mma ma nye ntọala siri ike maka mmepụta nke fim dị gịrịgịrị mejupụtara ụlọ ọrụ mmepụta ihe. N'afọ ndị na-adịbeghị anya, mkpuchi sputtering aghọọla teknụzụ nkwadebe ihe nkiri na-ekpo ọkụ, na-arụ ọrụ n'ọhịa nke teknụzụ mkpuchi oghere.

–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua