Цохилт гэдэг нь эрчим хүчний хэсгүүд (ихэвчлэн хийн эерэг ионууд) хатуу биетийн (доорх бай материал гэж нэрлэдэг) гадаргуу дээр цохигдож, бай материалын гадаргуу дээрх атомууд (эсвэл молекулууд) түүнээс зугтах үзэгдэл юм.
Энэ үзэгдлийг Гров 1842 онд катодын зэврэлтийг судлах туршилтын үеэр катодын материалыг вакуум хоолойн хананд шилжүүлэх үед нээсэн. Нимгэн хальсыг суурь дээр тунадасжуулах энэ аргыг 1877 онд нээсэн бөгөөд энэ аргыг хэрэглэснээр нимгэн хальсыг тунадасжуулах эхний шатанд цацах хурд бага, хальсны хурд удаан, өндөр даралттай төхөөрөмжид суурилуулж, нөлөөллийн хий рүү нэвтрэх гэх мэт олон асуудал үүсдэг тул хөгжил маш удаан бөгөөд бараг арилсан бөгөөд зөвхөн химийн урвалд ордог үнэт металл, галд тэсвэртэй металл, диэлектрик болон химийн нэгдлүүд гэх мэт цөөн тооны материалуудад ашиглагддаг байв. 1970-аад он хүртэл магнетрон цацах технологи гарч ирснээр цацах бүрхүүл хурдацтай хөгжиж, замд сэргэн мандалтад орж эхэлсэн. Учир нь магнетрон цацалтын аргыг электронууд дээрх ортогональ цахилгаан соронзон орон хязгаарлаж, электрон ба хийн молекулуудын мөргөлдөх магадлалыг нэмэгдүүлж, катод руу нэмэгдэх хүчдэлийг бууруулаад зогсохгүй, зорилтот катод дээрх эерэг ионуудын цацалтын хурдыг сайжруулж, субстрат дээр электрон бөмбөгдөх магадлалыг бууруулж, улмаар түүний температурыг бууруулж, "өндөр хурд, бага температур" гэсэн хоёр үндсэн шинж чанартай байдаг. "Өндөр хурд ба бага температур" гэсэн хоёр үндсэн шинж чанар байдаг.
1980-аад он хүртэл, хэдийгээр энэ нь ердөө арван хоёр жилийн дараа мэт санагдаж байсан ч лабораториос ялгарч, аж үйлдвэржсэн массын үйлдвэрлэлийн салбарт шилжсэн. Шинжлэх ухаан, технологийн цаашдын хөгжил, сүүлийн жилүүдэд шүршигч бүрхүүлийн салбарт болон ионы цацрагийг сайжруулсан шүршигч нэвтрүүлэхтэй зэрэгцэн хүчтэй гүйдлийн ионы эх үүсвэрийн өргөн цацрагийг соронзон орны модуляцтай хослуулан ашиглах, уламжлалт дипол шүршигчийг хослуулан шинэ шүршигч горимд оруулах; мөн магнетрон шүршигч зорилтот эх үүсвэрт завсрын давтамжийн хувьсах гүйдлийн тэжээлийн хангамжийг нэвтрүүлэх болно. Энэхүү дунд давтамжийн хувьсах гүйдлийн магнетрон шүршигч технологи нь хос бай шүршигч гэж нэрлэгддэг бөгөөд анодын "алга болох" нөлөөг арилгаад зогсохгүй катодын "хордлого"-ын асуудлыг шийддэг бөгөөд энэ нь магнетрон шүршигч тогтвортой байдлыг эрс сайжруулж, нийлмэл нимгэн хальсны аж үйлдвэржсэн үйлдвэрлэлд бат бөх суурь болдог. Энэ нь магнетрон цацалтын тогтвортой байдлыг эрс сайжруулж, нийлмэл нимгэн хальсны аж үйлдвэрийн үйлдвэрлэлийн бат бөх суурийг тавьсан. Сүүлийн жилүүдэд цацалтын бүрхүүл нь вакуум бүрхүүлийн технологийн салбарт идэвхтэй хөгжиж буй хальс бэлтгэх технологи болж байна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 12-р сарын 5