Чачыранды – бул катуу нерсенин (төмөндө максаттуу материал деп аталат) бетине энергетикалык бөлүкчөлөрдүн (адатта газдардын оң иондорунун) тийип, максаттуу материалдын бетиндеги атомдордун (же молекулалардын) андан чыгып кетишине алып келүүчү кубулуш.
Бул кубулушту Гроув 1842-жылы катоддук коррозияны изилдөө боюнча эксперимент учурунда катод материалы вакуумдук түтүктүн дубалына көчүрүлгөндө ачкан. Жука пленкаларды субстраттык чөктүрүүдө бул чачыратуу ыкмасы 1877-жылы ачылган, бул ыкманы колдонуудан улам жука пленкаларды чөктүрүүнүн алгачкы этаптарында чачыратуу ылдамдыгы төмөн, пленканын ылдамдыгы жай, жогорку басымдагы түзүлүшкө орнотулуп, аффективдүү газга жана башка бир катар көйгөйлөргө алып келет, ошондуктан өнүгүү абдан жай жана дээрлик жокко чыгарылган, химиялык жактан реактивдүү баалуу металлдарда, отко чыдамдуу металлдарда, диэлектриктерде жана химиялык кошулмаларда, аз сандагы колдонмолордо гана колдонулган. 1970-жылдарга чейин магнетрондук чачыратуу технологиясынын пайда болушуна байланыштуу чачыратуу каптоосу тездик менен өнүгүп, жаңылануу жолуна кире баштаган. Себеби, магнетрондук чачыратуу ыкмасы электрондордогу ортогоналдуу электромагниттик талаа менен чектелиши мүмкүн, бул электрондордун жана газ молекулаларынын кагылышуу ыктымалдыгын жогорулатат, катодго кошулган чыңалууну азайтып гана тим болбостон, максаттуу катоддогу оң иондордун чачыратуу ылдамдыгын жакшыртат, электрондордун субстратка бомбалануу ыктымалдыгын азайтат, ошону менен анын температурасын төмөндөтөт, "жогорку ылдамдык, төмөнкү температура" менен. Бул эки негизги мүнөздөмө "жогорку ылдамдык жана төмөнкү температура".
1980-жылдарга чейин, ал болгону он эки жылдай көрүнгөнү менен, ал лабораториядан айырмаланып, чындыгында өнөр жайлык массалык өндүрүш тармагына өттү. Илим менен техниканын андан ары өнүгүшү, акыркы жылдары чачыратма каптоо жаатында жана ион нуру менен күчөтүлгөн чачыратма киргизүү, магнит талаасынын модуляциясы менен айкалышкан кеңири нурлуу күчтүү токтун ион булагын колдонуу жана жаңы чачыратма режимин түзгөн кадимки диполдук чачыратма менен айкалыштыруу; жана магнетрондук чачыратма бута булагына орто жыштыктагы өзгөрмө токтун кубаттуулугун киргизүү болот. Эгиз буталуу чачыратма деп аталган бул орто жыштыктагы өзгөрмө токтун магнетрондук чачыратма технологиясы аноддун "жок болуу" эффектин жок кылбастан, катоддун "уулануу" көйгөйүн да чечет, бул магнетрондук чачыратманын туруктуулугун бир топ жакшыртат жана кошулма жука пленкаларды өнөр жайлык өндүрүү үчүн бекем пайдубал түзөт. Бул магнетрондук чачыратуунун туруктуулугун бир топ жакшыртты жана кошулма жука пленкаларды өнөр жайлык өндүрүү үчүн бекем пайдубал түздү. Акыркы жылдары чачыратма каптоо вакуумдук каптоо технологиясы жаатында активдүү колдонулуп келе жаткан пленка даярдоо технологиясына айланды.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 5-декабры