Percikan air merupakan fenomena di mana zarah-zarah bertenaga (biasanya ion gas positif) menghentam permukaan pepejal (di bawah dipanggil bahan sasaran), menyebabkan atom (atau molekul) pada permukaan bahan sasaran terlepas daripadanya.
Fenomena ini ditemui oleh Grove pada tahun 1842 apabila bahan katod dipindahkan ke dinding tiub vakum semasa eksperimen untuk mengkaji kakisan katodik. Kaedah percikan ini dalam pemendapan substrat filem nipis ditemui pada tahun 1877, kerana penggunaan kaedah ini, kadar percikan filem nipis pada peringkat awal adalah rendah, kelajuan filem perlahan, mesti dipasang dalam peranti tekanan tinggi dan lulus ke dalam gas afektif dan siri masalah lain, jadi perkembangannya sangat perlahan dan hampir dihapuskan, hanya dalam logam berharga reaktif kimia, logam refraktori, dielektrik, dan sebatian kimia, bahan pada sebilangan kecil aplikasi. Sehingga tahun 1970-an, disebabkan oleh kemunculan teknologi percikan magnetron, salutan percikan telah berkembang pesat, mula memasuki kebangkitan jalan raya. Ini kerana kaedah percikan magnetron boleh dikekang oleh medan elektromagnet ortogon pada elektron, meningkatkan kebarangkalian perlanggaran elektron dan molekul gas, bukan sahaja mengurangkan voltan yang ditambah pada katod, dan meningkatkan kadar percikan ion positif pada katod sasaran, mengurangkan kebarangkalian pengeboman elektron pada substrat, sekali gus mengurangkan suhunya, dengan "kelajuan tinggi, suhu rendah Dua ciri utama "kelajuan tinggi dan suhu rendah".
Walaupun baru muncul selama sedozen tahun pada tahun 1980-an, ia menonjol dari makmal, benar-benar memasuki bidang pengeluaran besar-besaran perindustrian. Dengan perkembangan sains dan teknologi selanjutnya, dalam beberapa tahun kebelakangan ini dalam bidang salutan percikan dan pengenalan pancaran ion yang dipertingkatkan, penggunaan pancaran lebar sumber ion arus kuat yang digabungkan dengan modulasi medan magnet, dan dengan gabungan percikan dipol konvensional yang terdiri daripada mod percikan baharu; dan akan menjadi pengenalan bekalan kuasa arus ulang-alik frekuensi pertengahan kepada sumber sasaran percikan magnetron. Teknologi percikan magnetron AC frekuensi sederhana ini, yang dipanggil percikan sasaran berkembar, bukan sahaja menghapuskan kesan "kehilangan" anod, tetapi juga menyelesaikan masalah "keracunan" katod, yang sangat meningkatkan kestabilan percikan magnetron, dan menyediakan asas yang kukuh untuk pengeluaran filem nipis majmuk perindustrian. Ini telah meningkatkan kestabilan percikan magnetron dan menyediakan asas yang kukuh untuk pengeluaran filem nipis majmuk perindustrian. Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, salutan percikan telah menjadi teknologi penyediaan filem yang sedang hangat muncul, aktif dalam bidang teknologi salutan vakum.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 05-Dis-2023