Пошхӯрӣ падидаест, ки дар он зарраҳои энергетикӣ (одатан ионҳои мусбати газҳо) ба сатҳи ҷисми сахт (ки дар зер маводи ҳадаф номида мешавад) бархӯрда, боиси фирори атомҳо (ё молекулаҳо)-и сатҳи маводи ҳадаф мегардад.
Ин падида аз ҷониби Гроув соли 1842 кашф карда шуд, вақте ки маводи катод ҳангоми таҷриба барои омӯзиши зангзании катодӣ ба девори найчаи вакуумӣ кӯчонида шуд. Ин усули пошидани маводи катодӣ дар таҳшинкунии зеризаминии плёнкаҳои тунук дар соли 1877 кашф карда шуд, ки бо сабаби истифодаи ин усул таҳшинкунии филмҳои тунук дар марҳилаҳои аввал суръати пошидани маводи катодӣ паст, суръати пасти плёнка, ки бояд дар дастгоҳи фишори баланд насб карда шавад ва ба гази аффективӣ ва як қатор мушкилот табдил ёбад, аз ин рӯ, рушд хеле суст аст ва қариб аз байн меравад, танҳо дар металлҳои қиматбаҳои реактивии кимиёвӣ, металлҳои оташгиранда, диэлектрикҳо ва пайвастагиҳои кимиёвӣ, маводҳо дар шумораи ками истифода мешаванд. То солҳои 1970-ум, бо сабаби пайдоиши технологияи пошидани маводи магнетронӣ, пӯшиши пошидани маводи катодӣ босуръат рушд карда, ба эҳёи роҳ шурӯъ кард. Ин аз он сабаб аст, ки усули пошидани магнетрон метавонад аз ҷониби майдони электромагнитии ортогоналӣ дар электронҳо маҳдуд карда шавад, ки эҳтимолияти бархӯрди электронҳо ва молекулаҳои газро зиёд мекунад, на танҳо шиддати иловашударо ба катод коҳиш медиҳад, балки суръати пошидани ионҳои мусбатро дар катоди мақсаднок беҳтар мекунад ва эҳтимолияти бомбаборон кардани электронҳоро ба субстрат коҳиш медиҳад ва бо ин васила ҳарорати онро коҳиш медиҳад, ки "суръати баланд, ҳарорати паст" аст. Ду хусусияти асосии "суръати баланд ва ҳарорати паст".
То солҳои 1980, гарчанде ки он танҳо даҳ сол пеш ба назар мерасид, он аз озмоишгоҳҳо, воқеан ба соҳаи истеҳсоли оммавии саноатӣ табдил ёфт. Бо рушди минбаъдаи илм ва технология, дар солҳои охир, дар соҳаи пӯшонидани пошидани нур ва ҷорӣ намудани пошидани такмилёфтаи нури ионӣ, истифодаи нури васеи манбаи ионии ҷараёни қавӣ дар якҷоягӣ бо модулятсияи майдони магнитӣ ва бо якҷоя кардани пошидани диполҳои анъанавӣ, ки аз режими нави пошидани нур иборат аст; ва ҷорӣ намудани таъминоти барқи ҷараёни тағйирёбандаи басомади миёна ба манбаи ҳадафи пошидани магнетронӣ хоҳад буд. Ин технологияи пошидани магнетронии AC-и басомади миёна, ки пошидани ҳадафи дугона номида мешавад, на танҳо таъсири "нопадидшавӣ"-и анодро бартараф мекунад, балки инчунин мушкилоти "заҳролудшавӣ"-и катодро ҳал мекунад, ки устувории пошидани магнетронро хеле беҳтар мекунад ва заминаи мустаҳкамеро барои истеҳсоли саноатии плёнкаҳои тунуки мураккаб фароҳам меорад. Ин устувории пошидани магнетронро хеле беҳтар кард ва заминаи мустаҳкамеро барои истеҳсоли саноатии плёнкаҳои тунуки мураккаб фароҳам овард. Дар солҳои охир, пӯшиши пошидани филтр ба як технологияи омодасозии плёнкаи нав табдил ёфтааст, ки дар соҳаи технологияи пӯшиши вакуумӣ фаъол аст.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 05 декабри соли 2023