స్పుటరింగ్ అనేది ఒక దృగ్విషయం, దీనిలో శక్తివంతమైన కణాలు (సాధారణంగా వాయువుల ధన అయాన్లు) ఒక ఘనపదార్థం (ఇకపై లక్ష్య పదార్థం అని పిలువబడుతుంది) యొక్క ఉపరితలాన్ని తాకినప్పుడు, లక్ష్య పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై ఉన్న పరమాణువులు (లేదా అణువులు) దాని నుండి బయటకు వెళ్ళిపోతాయి.
1842లో కాథోడిక్ తుప్పును అధ్యయనం చేసే ప్రయోగంలో, వాక్యూమ్ ట్యూబ్ గోడకు కాథోడ్ పదార్థం వలస వెళ్లినప్పుడు గ్రోవ్ ఈ దృగ్విషయాన్ని కనుగొన్నారు. పలుచని పొరలను సబ్స్ట్రేట్పై పూయడానికి ఉపయోగించే ఈ స్పుటరింగ్ పద్ధతి 1877లో కనుగొనబడింది. అయితే, ఈ పద్ధతిని ఉపయోగించి పలుచని పొరలను పూయడంలో ప్రారంభ దశలలో స్పుటరింగ్ రేటు తక్కువగా ఉండటం, ఫిల్మ్ వేగం నెమ్మదిగా ఉండటం, పరికరాన్ని అధిక పీడనంలో అమర్చాల్సి రావడం, ప్రభావవంతమైన వాయువును లోపలికి పంపాల్సి రావడం వంటి అనేక సమస్యల కారణంగా, దీని అభివృద్ధి చాలా నెమ్మదిగా సాగింది మరియు దాదాపుగా కనుమరుగైంది. ఇది కేవలం రసాయనికంగా చురుకైన విలువైన లోహాలు, అధిక ఉష్ణోగ్రతను తట్టుకునే లోహాలు, విద్యున్నిరోధకాలు మరియు రసాయన సమ్మేళనాలు వంటి కొన్ని పదార్థాలపై మాత్రమే అనువర్తనాలకు పరిమితమైంది. 1970ల వరకు, మాగ్నెట్రాన్ స్పుటరింగ్ సాంకేతికత ఆవిర్భావం కారణంగా, స్పుటరింగ్ కోటింగ్ వేగంగా అభివృద్ధి చెంది, పునరుజ్జీవన మార్గంలోకి ప్రవేశించడం ప్రారంభించింది. దీనికి కారణం, మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ పద్ధతిలో ఎలక్ట్రాన్లపై లంబ విద్యుదయస్కాంత క్షేత్రాన్ని ప్రయోగించడం ద్వారా ఎలక్ట్రాన్లు మరియు వాయు అణువుల మధ్య ఢీకొనే సంభావ్యతను పెంచవచ్చు. ఇది కాథోడ్కు జోడించే వోల్టేజ్ను తగ్గించడమే కాకుండా, టార్గెట్ కాథోడ్పై ధన అయాన్ల స్పట్టరింగ్ రేటును మెరుగుపరుస్తుంది, సబ్స్ట్రేట్పై ఎలక్ట్రాన్లు ఢీకొనే సంభావ్యతను తగ్గిస్తుంది, తద్వారా దాని ఉష్ణోగ్రతను తగ్గిస్తుంది. ఇది "అధిక వేగం, తక్కువ ఉష్ణోగ్రత" అనే రెండు ప్రధాన లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది.
1980వ దశకం నాటికి, ఇది ఆవిర్భవించి కేవలం పన్నెండేళ్లు మాత్రమే అయినప్పటికీ, ప్రయోగశాల నుండి బయటకు వచ్చి, నిజంగా పారిశ్రామిక భారీ ఉత్పత్తి రంగంలోకి ప్రవేశించింది. విజ్ఞాన శాస్త్రం మరియు సాంకేతిక పరిజ్ఞానం మరింత అభివృద్ధి చెందడంతో, ఇటీవలి సంవత్సరాలలో స్పుటరింగ్ కోటింగ్ రంగంలో మరియు అయాన్ బీమ్ మెరుగైన స్పుటరింగ్ పరిచయంతో, అయస్కాంత క్షేత్ర మాడ్యులేషన్తో కలిపి బలమైన కరెంట్ అయాన్ సోర్స్ యొక్క విస్తృత బీమ్ వాడకం, మరియు సాంప్రదాయ డైపోల్ స్పుటరింగ్తో కూడిన ఒక కొత్త స్పుటరింగ్ విధానం ఏర్పడింది; మరియు మాగ్నెట్రాన్ స్పుటరింగ్ టార్గెట్ సోర్స్కు ఇంటర్మీడియట్-ఫ్రీక్వెన్సీ ఆల్టర్నేటింగ్ కరెంట్ విద్యుత్ సరఫరాను ప్రవేశపెట్టడం జరిగింది. ట్విన్ టార్గెట్ స్పుటరింగ్ అని పిలువబడే ఈ మీడియం-ఫ్రీక్వెన్సీ AC మాగ్నెట్రాన్ స్పుటరింగ్ టెక్నాలజీ, యానోడ్ యొక్క "అదృశ్యం" ప్రభావాన్ని తొలగించడమే కాకుండా, కాథోడ్ యొక్క "పాయిజనింగ్" సమస్యను కూడా పరిష్కరిస్తుంది, ఇది మాగ్నెట్రాన్ స్పుటరింగ్ యొక్క స్థిరత్వాన్ని బాగా మెరుగుపరుస్తుంది మరియు కాంపౌండ్ థిన్ ఫిల్మ్ల పారిశ్రామిక ఉత్పత్తికి పటిష్టమైన పునాదిని అందిస్తుంది. ఇది మాగ్నెట్రాన్ స్పుటరింగ్ యొక్క స్థిరత్వాన్ని బాగా మెరుగుపరిచింది మరియు కాంపౌండ్ థిన్ ఫిల్మ్ల పారిశ్రామిక ఉత్పత్తికి పటిష్టమైన పునాదిని అందించింది. ఇటీవలి సంవత్సరాలలో, స్పుటరింగ్ కోటింగ్ అనేది వాక్యూమ్ కోటింగ్ టెక్నాలజీ రంగంలో చురుకుగా ఉంటూ, వేగంగా అభివృద్ధి చెందుతున్న ఒక ఫిల్మ్ తయారీ సాంకేతికతగా మారింది.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-05-2023