Сиптерү - бу энергия кисәкчәләренең (гадәттә газларның уңай ионнары) каты матдә (аста максат материалы дип атала) өслегенә бәрелүе, нәтиҗәдә максат материалы өслегендәге атомнарның (яки молекулаларның) аннан чыгып китүе күренеше.
Бу күренешне Гров 1842 елда катод коррозиясен өйрәнү эксперименты вакытында катод материалы вакуум трубкасы стенасына күчкәндә ачкан. Бу сиптерү ысулы 1877 елда нечкә пленкаларны субстратка урнаштыруда ачылган, бу ысулны куллану нәтиҗәсендә нечкә пленкаларны урнаштыруның башлангыч этапларында сиптерү тизлеге түбән, пленка тизлеге әкрен, югары басымлы җайланмада урнаштырылырга һәм аффектив газга күчү һәм башка берничә проблема тудырырга мөмкин, шуңа күрә үсеш бик әкрен һәм диярлек юкка чыккан, химик яктан реактив кыйммәтле металларда, утка чыдам металларда, диэлектрикларда һәм химик кушылмаларда гына, аз санлы кушымталарда гына кулланыла башлаган. 1970 елларга кадәр, магнетрон сиптерү технологиясе барлыкка килү сәбәпле, сиптерү каплавы тиз үсеш алган һәм яңарыш чорына кергән. Чөнки магнетрон сиптерү ысулы электроннардагы ортогональ электромагнит кыр белән чикләнергә мөмкин, бу электроннар һәм газ молекулаларының бәрелешү ихтималын арттыра, катодка өстәлгән көчәнешне киметә генә түгел, ә максат катодында уңай ионнарның сиптерү тизлеген яхшырта, электроннарның субстратка бомбага тоту ихтималын киметә, шуның белән аның температурасын киметә, "югары тизлек, түбән температура" белән. "Югары тизлек һәм түбән температура"ның ике төп үзенчәлеге бар.
1980 елларга кадәр, ул нибары ун ел гына булып күренсә дә, лабораториядән аерылып тора, чынлыкта индустриальләшкән массакүләм җитештерү өлкәсенә керә. Фән һәм техниканың алга таба үсеше белән, соңгы елларда сиптерү каплавы һәм ион нуры белән көчәйтелгән сиптерү кертелүе белән, көчле ток чыганагының киң нурын магнит кыры модуляциясе белән берләштереп куллану һәм гадәти диполь сиптерүнең яңа сиптерү режимыннан торган комбинациясе; һәм магнетрон сиптерү максатлы чыганагына арадаш ешлыклы алмаш ток белән тәэмин итү кертеләчәк. Игезәк максатлы сиптерү дип аталган бу урта ешлыклы үзгәрүчән ток магнетрон сиптерү технологиясе анодның "юкка чыгу" эффектын бетерү белән беррәттән, катодның "агулану" проблемасын да хәл итә, бу магнетрон сиптерүнең тотрыклылыгын сизелерлек яхшырта һәм кушылма юка пленкаларны индустриальләштереп җитештерү өчен ныклы нигез бирә. Бу магнетрон сиптерүнең тотрыклылыгын сизелерлек яхшыртты һәм кушылма юка пленкаларны сәнәгатьтә җитештерү өчен ныклы нигез булдырды. Соңгы елларда сиптерү белән каплау вакуум каплау технологиясе өлкәсендә актив рәвештә барлыкка килүче пленка әзерләү технологиясенә әйләнде.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырылган вакыты: 2023 елның 5 декабре