Kala-baxa waa dhacdo ay walxaha firfircoon (badanaa ion-yada gaasaska togan) ku dhacaan dusha sare ee adag (hoos loogu yeero walxaha bartilmaameedka ah), taasoo keenta in atamka (ama molecules) ee dusha sare ee walxaha bartilmaameedka ah ay ka baxsadaan.
Dhacdadan waxaa ogaaday Grove sanadkii 1842 markii walaxda katooliga loo raray derbiga tuubo faakiyuum ah intii lagu jiray tijaabo lagu baranayay daxalka katooliga. Habkan daxalka ee ku jira kaydinta substrate-ka ee filimada khafiifka ah waxaa la ogaaday sanadkii 1877, sababtoo ah isticmaalka habkan daxalka filimada khafiifka ah marxaladaha hore ee heerka daxalka waa mid hooseeya, xawaaraha filimka gaabis ah, waa in lagu rakibaa qalabka cadaadiska sare oo loo gudbiyaa gaaska dareenka leh iyo dhibaatooyin kale oo taxane ah, sidaa darteed horumarku aad ayuu u gaabis yahay oo ku dhawaad waa la baabi'iyaa, kaliya biraha qaaliga ah ee kiimikada ka falceliya, biraha iska caabiya, dielectrics, iyo isku-dhafka kiimikada, agabyada tiro yar oo codsiyo ah. Ilaa 1970-yadii, sababtoo ah soo ifbixidda tignoolajiyada daxalka magnetron, dahaarka daxalka ayaa si degdeg ah loo horumariyay, wuxuu bilaabay inuu galo soo noolaynta wadada. Tani waa sababta oo ah habka loo yaqaan 'magneticron sputtering' waxaa lagu xaddidi karaa goobta korantada ee orthogonal ee elektaroonada, taasoo kordhinaysa suurtagalnimada isku dhaca elektaroonada iyo molecules-ka gaaska, ma aha oo kaliya inay yareyso danabka lagu daray cathode-ka, waxayna hagaajineysaa heerka sputtering-ka ee ion-yada togan ee cathode-ka bartilmaameedka ah, taasoo yareyneysa suurtagalnimada duqeynta elektaroonada ee substrate-ka, taasoo yareyneysa heerkulkeeda, iyadoo leh "xawaare sare, heerkul hoose Labada astaamood ee ugu muhiimsan ee "xawaare sare iyo heerkul hoose".
Ilaa 1980-meeyadii, inkastoo ay u muuqatay dhowr iyo toban sano oo keliya, haddana waxay ka soocdaa shaybaarka, runtiina waxay ku jirtaa qaybta wax soo saarka tirada badan ee warshadaha leh. Iyadoo la sii horumarinayo sayniska iyo tignoolajiyada, sannadihii ugu dambeeyay ee ku saabsan dahaarka daloolinta iyo soo bandhigidda shucaaca ion-ka oo la xoojiyay, isticmaalka iftiin ballaaran oo ah isha ion-ka hadda jirta oo xooggan oo ay weheliso habaynta goobta magnetic-ka, iyo isku-darka buufinta dipole-ka caadiga ah oo ka kooban qaab buufin cusub; waxayna noqon doontaa soo bandhigidda sahayda tamarta ee isbeddelka soo noqnoqda ee dhexdhexaadka ah ee isha bartilmaameedka buufinta magnetron-ka. Tiknoolajiyadda buufinta magnetron-ka AC ee soo noqnoqda dhexdhexaadka ah, oo loo yaqaan buufinta bartilmaameedka mataanaha ah, ma aha oo kaliya inay meesha ka saarto saameynta "lumitaanka" ee anode-ka, laakiin sidoo kale waxay xallisaa dhibaatada "sumowga" ee cathode-ka, taas oo si weyn u hagaajinaysa xasilloonida buufinta magnetron-ka, waxayna bixisaa aasaas adag oo loogu talagalay wax soo saarka warshadaha leh ee filimada khafiifka ah ee isku dhafan. Tani waxay si weyn u hagaajisay xasilloonida buufinta magnetron waxayna siisay aasaas adag wax soo saarka warshadaha leh ee filimada khafiifka ah ee isku dhafan. Sannadihii ugu dambeeyay, dahaarka sputtering wuxuu noqday tignoolajiyad diyaarin filim oo kulul oo soo ifbaxaysa, oo firfircoon oo ku jirta teknoolojiyadda dahaarka faakuumka.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Diseembar-05-2023