Chayqalish - bu energetik zarralar (odatda gazlarning musbat ionlari) qattiq jism (quyida nishon material deb ataladi) yuzasiga urilib, nishon material yuzasidagi atomlar (yoki molekulalar) undan chiqib ketishiga olib keladigan hodisa.
Bu hodisa Grove tomonidan 1842-yilda katodik korroziyani o'rganish bo'yicha tajriba davomida katod materiali vakuum naychasining devoriga ko'chirilganda kashf etilgan. Yupqa plyonkalarni substratga joylashtirishda bu purkash usuli 1877-yilda kashf etilgan, bu usuldan foydalanish natijasida yupqa plyonkalarni yotqizishning dastlabki bosqichlarida purkash tezligi past, plyonka tezligi sekin, yuqori bosimli qurilmada o'rnatilishi va affektiv gazga o'tishi va boshqa bir qator muammolar yuzaga keladi, shuning uchun rivojlanish juda sekin va deyarli yo'q bo'lib ketadi, faqat kimyoviy jihatdan reaktiv qimmatbaho metallar, refrakter metallar, dielektriklar va kimyoviy birikmalar kabi materiallarda oz sonli qo'llaniladi. 1970-yillarga qadar magnetron purkash texnologiyasining paydo bo'lishi tufayli purkash qoplamasi tez rivojlanib, qayta tiklanish davriga kirdi. Buning sababi shundaki, magnetronli purkash usuli elektronlardagi ortogonal elektromagnit maydon bilan cheklanishi mumkin, bu elektronlar va gaz molekulalarining to'qnashuv ehtimolini oshiradi, nafaqat katodga qo'shilgan kuchlanishni kamaytiradi, balki maqsadli katoddagi musbat ionlarning purkash tezligini oshiradi, substratda elektronlarning bombardimon qilinishi ehtimolini kamaytiradi va shu bilan uning haroratini pasaytiradi, "yuqori tezlik, past harorat" bilan. "Yuqori tezlik va past harorat" ning ikkita asosiy xususiyati.
1980-yillarga kelib, u atigi o'n ikki yil oldin paydo bo'lgan bo'lsa-da, u laboratoriyadan ajralib turdi, aslida sanoatlashgan ommaviy ishlab chiqarish sohasiga kirdi. Fan va texnologiyaning yanada rivojlanishi bilan, so'nggi yillarda purkash qoplamasi sohasida va ion nurlari bilan kuchaytirilgan purkashning joriy etilishi bilan, magnit maydon modulyatsiyasi bilan birlashtirilgan keng nurli kuchli tok ion manbaidan foydalanish va an'anaviy dipol purkashning kombinatsiyasi bilan yangi purkash rejimidan iborat bo'ldi; va magnetron purkash maqsadli manbasiga oraliq chastotali o'zgaruvchan tok quvvat manbai joriy etiladi. Ikkita nishonli purkash deb ataladigan bu o'rta chastotali AC magnetron purkash texnologiyasi nafaqat anodning "yo'qolib ketish" ta'sirini yo'q qiladi, balki katodning "zaharlanish" muammosini ham hal qiladi, bu esa magnetron purkashning barqarorligini sezilarli darajada yaxshilaydi va murakkab yupqa plyonkalarni sanoatlashgan ishlab chiqarish uchun mustahkam poydevor yaratadi. Bu magnetronli purkashning barqarorligini sezilarli darajada yaxshiladi va murakkab yupqa plyonkalarni sanoatlashtirilgan ishlab chiqarish uchun mustahkam poydevor yaratdi. So'nggi yillarda purkash qoplamasi vakuumli qoplama texnologiyasi sohasida faol bo'lgan, yangi paydo bo'layotgan plyonka tayyorlash texnologiyasiga aylandi.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2023-yil 5-dekabr