Ho qhalana ke ketsahalo eo ho yona dikarolwana tse matla (hangata e le di-ion tse ntle tsa dikgase) di otlang bokahodimo ba ntho e tiileng (e ka tlase e bitswang thepa e rerilweng), e leng se etsang hore diathomo (kapa dimolek'hule) tse hodima bokahodimo ba thepa e rerilweng di tswe ho yona.
Ketsahalo ena e ile ea sibolloa ke Grove ka 1842 ha thepa ea cathode e ne e fetisetsoa leboteng la tube ea vacuum nakong ea teko ea ho ithuta ho bola ha cathodic. Mokhoa ona oa ho phunya ka har'a substrate deposition ea lifilimi tse tšesaane o ile oa sibolloa ka 1877, ka lebaka la tšebeliso ea mokhoa ona deposition ea lifilimi tse tšesaane mehatong ea pele ea sekhahla sa ho phunya ke se tlase, lebelo la filimi le liehang, le tlameha ho hlongoa sesebelisoa sa khatello e phahameng le ho fetisetsoa khase e amang le letoto la mathata a mang, kahoo nts'etsopele e lieha haholo 'me e batla e felisoa, feela ka litšepe tsa bohlokoa tse arabelang ka lik'hemik'hale, litšepe tse hanyetsang, dielectric, le metsoako ea lik'hemik'hale, lisebelisoa tse nang le palo e nyane ea lits'ebetso. Ho fihlela lilemong tsa bo-1970, ka lebaka la ho hlaha ha theknoloji ea ho phunya ea magnetron, ho phunya ha sputtering ho ntlafalitsoe ka potlako, ho ile ha qala ho kena tsosolosong ea tsela. Lebaka ke hobane mokhoa oa ho phunya magnetron o ka thibeloa ke tšimo ea motlakase ea orthogonal ho lielektrone, e leng se eketsang monyetla oa ho thulana ha lielektrone le limolek'hule tsa khase, eseng feela ho fokotsa motlakase o ekelitsoeng ho cathode, le ho ntlafatsa sekhahla sa ho phunya ha li-ion tse ntle ho cathode e reriloeng, ho fokotsa monyetla oa ho phatloha ha lielektrone ho substrate, ka hona ho fokotsa mocheso oa eona, ka "lebelo le phahameng, mocheso o tlase Litšobotsi tse peli tse ka sehloohong tsa "lebelo le phahameng le mocheso o tlase".
Ho fihlela lilemong tsa bo-1980, le hoja e ne e bonahala e le lilemo tse leshome le metso e 'meli feela, e ikhetha ho tloha laboratoring, e hlile e le tšimong ea tlhahiso ea bongata ea indasteri. Ka nts'etsopele e tsoelang pele ea saense le theknoloji, lilemong tsa morao tjena lefapheng la ho koahela ka sputtering le ho hlahisoa ha mahlaseli a ion ho ntlafalitsoe, tšebeliso ea mahlaseli a mangata a mohloli oa ion o matla oa hona joale o kopantsoeng le modulation ea matla a makenete, le ka motsoako oa ho sputtering ea dipole e tloaelehileng e entsoeng ka mokhoa o mocha oa ho sputtering; 'me e tla ba kenyelletso ea phepelo ea motlakase oa hona joale o fetohang oa maqhubu a mahareng ho mohloli oa sepheo sa ho sputtering sa magnetron. Theknoloji ena ea ho sputtering ea magnetron ea maqhubu a mahareng a AC, e bitsoang ho sputtering ea twin target, ha e felise feela phello ea "ho nyamela" ea anode, empa hape e rarolla bothata ba "chefo" ea cathode, e ntlafatsang haholo botsitso ba ho sputtering ea magnetron, 'me e fana ka motheo o tiileng bakeng sa tlhahiso ea indasteri ea lifilimi tse tšesaane tse kopaneng. Sena se ntlafalitse haholo botsitso ba ho sputtering ea magnetron 'me se fane ka motheo o tiileng bakeng sa tlhahiso ea indasteri ea lifilimi tse tšesaane tse kopaneng. Lilemong tsa morao tjena, ho penta ka ho phunya ho fetohile theknoloji e chesang ea ho lokisa filimi e ntseng e hlaha, e sebetsang lefapheng la theknoloji ea ho penta ka vacuum.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Tshitwe-05-2023