Tüýkürmek, kuwwatly bölejikleriň (adatça gazlaryň polo positiveitel ionlary) gaty (aşakda maksatly material diýilýär) üstüne degip, maksat materialynyň üstündäki atomlaryň (ýa-da molekulalaryň) ondan gaçmagyna sebäp bolýan hadysadyr.
Bu hadysa Grove tarapyndan 1842-nji ýylda katodyň poslamagyny öwrenmek üçin geçirilen synag wagtynda wakuum turbasynyň diwaryna göçürilende ýüze çykaryldy. Inçe filmleriň substrat çökdürilişinde bu tüýdük usuly 1877-nji ýylda ýüze çykaryldy, bu usuldan peýdalanyp, tüýkürmegiň tizliginiň pes, haýal film tizligi ýokary basyşly enjamda gurulmaly we täsirli gaz we beýleki bir topar meselelere geçmeli, şonuň üçin ösüş gaty haýal we ýok edilip bilner, diňe himiki reaktiw gymmat bahaly metallar, reflektorlar, himiki reaktiw gymmat bahaly metallar, reflektorlar, himiki reaktiw metallar, refraktiw metallar. 1970-nji ýyllara çenli magnitron tüýdük tehnologiýasynyň döremegi sebäpli tüýkülik örtügi çalt ösüp, ýoluň galkynyşyna girip başlady. Munuň sebäbi, magnitronyň tüýkürme usulynyň elektronlardaky ortogonal elektromagnit meýdany bilen çäklendirilip, elektronlaryň we gaz molekulalarynyň çaknyşmak ähtimallygyny ýokarlandyryp, katoda goşulan naprýa .eniýäni azaltman, maksatly katodda polo positiveitel ionlaryň ýaýramagynyň tizligini ýokarlandyryp, ýokary temperaturany peseldip, iki sany ýokary temperaturany peseldýär.
1980-nji ýyllara, bary-ýogy on ýyl peýda bolsa-da, laboratoriýadan hakykatdanam ösen köpçülikleýin önümçilik pudagy bilen tapawutlanýar. Ylmyň we tehnologiýanyň mundan beýläk-de ösmegi bilen, soňky ýyllarda tüýkülik örtügi we ion şöhlesiniň güýçlendirilmegi bilen, güýçli tok ion çeşmesiniň giň şöhlesini magnit meýdany modulirlemegi we täze tüýdük re modeiminden düzülen adaty dipol tüýkürmesi bilen utgaşdyrmak; we magnitronyň tüýkürýän maksat çeşmesine aralyk ýygylykly üýtgeýän tok üpjünçiliginiň ornaşdyrylmagy bolar. Ekiz maksatly tüýkürmek diýlip atlandyrylýan bu orta ýygylykdaky AC magnitron tüýdük tehnologiýasy diňe bir anodyň “ýitip gitmek” täsirini aradan aýyrman, eýsem magnitronyň dökülmeginiň durnuklylygyny ep-esli ýokarlandyrýan we çylşyrymly inçe filmleriň senagat taýdan öndürilmegi üçin berk binýady üpjün edýän katodyň “zäherlenmegi” meselesini hem çözýär. Bu, magnitronyň dökülmeginiň durnuklylygyny ep-esli ýokarlandyrdy we goşma inçe filmleriň senagat taýdan öndürilmegi üçin berk binýady üpjün etdi. Soňky ýyllarda tüýdük örtük wakuum örtük tehnologiýasy pudagynda işjeň hereket edýän film taýýarlaýyş tehnologiýasyna öwrüldi.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 05-2023-nji dekabry