Wakuum almak “vakuum nasosy” diýlip hem atlandyrylýar, bu gapyň içindäki howany aýyrmak üçin dürli vakuum nasoslarynyň ulanylmagyny aňladýar, kosmosdaky basyş bir atmosferanyň aşagyna düşer. Häzirki wagtda wakuumy we köplenç ulanylýan enjamlary, aýlawly mehaniki wakuum nasoslary, kök nasoslary, ýag diffuziýa nasoslary, birleşdirilen molekulýar nasoslar, molekulýar elek adsorbsion nasoslary, titanium sublimasiýa nasoslary, tüýdük ion nasoslary we kriogen nasoslary we ş.m. Bu nasoslarda ilkinji dört nasos gaz geçiriji nasoslar (wakuum nasoslary) kategoriýasyna bölünýär, bu bolsa gaz molekulalarynyň wakuum nasosyna yzygiderli sorulýandygyny we ewakuasiýa amala aşyrylmagy üçin daşarky gurşawa çykarylýandygyny aňladýar; soňky dört nasos, zerur wakuumy almak üçin nasos kamerasynyň içki diwaryna molekulýar kondensirlenen ýa-da himiki taýdan birleşdirilen gaz almak nasoslary (vakuum nasoslary) hökmünde kategoriýalara bölünýär. Gaz alýan nasoslara ýagsyz wakuum nasoslary hem diýilýär, sebäbi olar ýagy iş serişdesi hökmünde ulanmaýarlar. Gazy hemişelik aýyrýan geçiriji nasoslardan tapawutlylykda, käbir nasoslar tersine bolýar, ýygnanan ýa-da kondensirlenen gazy ýyladyş döwründe sistema gaýtadan goýbermäge mümkinçilik berýär.
Geçiriji vakuum nasoslary iki esasy kategoriýa bölünýär: göwrümli we tizlikli geçiriş. Volumetriki geçiriji nasoslar, adatça, aýlawly mehaniki nasoslary, suwuk halka nasoslaryny, özara jogap nasoslaryny we kök nasoslaryny öz içine alýar; hereketlendiriji vakuum nasoslary adatça molekulýar nasoslary, reaktiw nasoslary, ýag diffuziýa nasoslaryny öz içine alýar. Wakuum nasoslaryny almak, adatça pes temperaturaly adsorbsiýany we tüýdükli ion nasoslaryny öz içine alýar.
Umuman alanyňda, örtük prosesi başga, wakuum örtük kamerasynyň wakuumy dürli derejelere ýetmeli, wakuum tehnologiýasynda bolsa derejesini beýan etmek üçin fon wakuuma (içerki wakuum hem diýilýär). Fon wakuum, iň ýokary wakuumyň örtük prosesiniň zerurlyklaryny kanagatlandyrmak üçin wakuum nasosynyň üsti bilen wakuum örtük kamerasynyň wakuumyna we bu wakuumyň ululygyna esasan wakuum nasos kuwwatyna baglydyr. Wakuum ulgamy wakuum ulgamy bilen wakuum örtük otagy iň ýokary vakuuma ýetip biler, çäge wakuumy (ýa-da basyş basyşy) diýilýär. 1-2-nji tablisada käbir umumy vakuum nasoslarynyň iş basyşy diapazony we alyp boljak iň soňky basyş görkezilýär. Stoluň kölegeli bölekleri beýleki vakuum nasosy bilen beýleki enjamlar bilen bilelikde ulanylanda alynýan basyşlary görkezýär.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Awgust-30-2024