(3) Radio ýygylykly plazma CVD (RFCVD)RF plazmany iki dürli usul bilen, kapasitiw birikdirme usuly we induktiw birikdirme usuly arkaly öndürmek üçin ulanylyp bilner.RF plazma CVD 13.56 MHz ýygylygy ulanýar.RF plazmasynyň artykmaçlygy, onuň mikrotolkunly plazmadan has uly meýdana ýaýramagydyr. Şeýle-de bolsa, RF kapasitiw birikdirilen plazmanyň çäklendirilmegi, plazmanyň ýygylygynyň, esasanam plazma argon saklaýan bolsa, püskürtmek üçin optimal däldigidir.Sygymly birikdirilen plazma ýokary hilli almaz plyonkalaryny ösdürmek üçin amatly däl, sebäbi plazmadan ion bombardmany almaza agyr zyýan ýetirip biler. Polikristal almaz plyonkalary mikrotolkunly plazma CVD-e meňzeş çökündi şertlerinde RF induksiýa edilen plazma ulanylyp ösdürildi.RF induksiýa edilen plazma bilen güýçlendirilen CVD ulanylyp birmeňzeş epitaksial almaz plyonkalary hem alyndy.
(4) DC plazma ýürek-damar ulgamy
DC plazma almaz plyonkasynyň ösüşi üçin gaz çeşmesini (umuman H2 we uglewodorod gazynyň garyndysy) işjeňleşdirmegiň başga bir usulydyr. DC plazma kömekli CVD almaz plyonkalarynyň uly meýdanlaryny ösdürip ýetişdirmek ukybyna eýedir we ösüş meýdanynyň ululygy diňe elektrodlaryň we DC elektrik üpjünçiliginiň ululygy bilen çäklenýär. DC plazma kömekli CVD-niň başga bir artykmaçlygy DC inýeksiýasynyň emele gelmegidir we bu ulgam arkaly alynýan adaty almaz plyonkalary sagatda 80 mm tizlikde çökýär. Mundan başga-da, dürli DC ýaý usullary ýokary hilli almaz plyonkalaryny almaz däl substratlara ýokary çökdürme tizliginde çökdürip bilýändigi üçin, olar almaz plyonkalaryny çökdürmek üçin satuwda elýeterli usul hödürleýär.
(5) Elektron siklotron rezonansly mikrotolkunly plazma bilen güýçlendirilen himiki bug çökündisi (ECR-MPECVD) Öň beýan edilen DC plazmasy, RF plazmasy we mikrotolkunly plazma H2 ýa-da uglewodorodlary atom wodorod we uglerod-wodorod atom toparlaryna bölýär we dargadýar, şeýdip almaz inçe plyonkalarynyň emele gelmegine goşant goşýar. Elektron siklotron rezonansly plazma ýokary dykyzlykly plazmany (>1x1011cm-3) öndürip bilýändigi üçin, ECR-MPECVD almaz plyonkalarynyň ösmegi we çökündisi üçin has amatlydyr. Şeýle-de bolsa, ECR prosesinde ulanylýan pes gaz basyşy (10-4-den 10-2 Torr-a çenli) sebäpli, almaz plyonkalarynyň çökündisiniň pes tizligine getirýär, bu usul häzirki wagtda diňe laboratoriýada almaz plyonkalaryny çökündisi üçin amatlydyr.
–Bu makala wakuum örtük maşynyny öndüriji Guangdong Zhenhua tarapyndan çap edildi
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 19-njy iýuny