(3) Radio Frequency Plasma CVD (RFCVD) Azo ampiasaina hamokarana plasma amin'ny fomba roa samy hafa ny RF, ny fomba fampifandraisana capacitive sy ny fomba fampifandraisana inductive. Mampiasa matetika 13.56 MHz ny RF plasma CVD. Ny tombony azo amin'ny plasma RF dia ny fiparitahany amin'ny faritra midadasika kokoa noho ny plasma microwave. Na izany aza, ny fetran'ny plasma mifamatotra capacitively RF dia ny tsy fahampian'ny matetika amin'ny sputtering, indrindra raha misy argon ny plasma. Tsy mety amin'ny fambolena sarimihetsika diamondra avo lenta ny plasma mifamatotra capacitively satria ny baomba ion avy amin'ny plasma dia mety hiteraka fahasimbana mafy amin'ny diamondra. Ny sarimihetsika diamondra polycrystalline dia novolena tamin'ny fampiasana plasma nateraky ny RF teo ambanin'ny fepetra fametrahana mitovy amin'ny CVD plasma microwave. Ny sarimihetsika diamondra epitaxial homogeneous dia azo ihany koa amin'ny fampiasana CVD nohatsaraina tamin'ny plasma nateraky ny RF.
(4) CVD amin'ny plasma DC
Ny plasma DC dia fomba iray hafa hampandeha loharanon-gazy (matetika fifangaroan'ny H2 sy entona hydrocarbon) ho an'ny fitomboan'ny sarimihetsika diamondra. Ny CVD DC ampian'ny plasma dia manana fahafahana mampitombo faritra midadasika amin'ny sarimihetsika diamondra, ary ny haben'ny faritra fitomboana dia voafetra amin'ny haben'ny elektroda sy ny famatsiana herinaratra DC ihany. Ny tombony iray hafa amin'ny CVD DC ampian'ny plasma dia ny fiforonan'ny tsindrona DC, ary ny sarimihetsika diamondra mahazatra azo avy amin'ity rafitra ity dia apetraka amin'ny tahan'ny 80 mm/ora. Ankoatra izany, satria ny fomba arc DC isan-karazany dia afaka mametraka sarimihetsika diamondra avo lenta amin'ny substrates tsy diamondra amin'ny tahan'ny fametrahana avo lenta, dia manome fomba azo amidy ho an'ny fametrahana sarimihetsika diamondra izy ireo.
(5) Fametrahana etona simika nohatsaraina tamin'ny alalan'ny plasma elektrôna cyclotron resonance (ECR-MPECVD) Ny plasma DC, plasma RF, ary plasma microwave voalaza tetsy aloha dia samy misaraka sy miparitaka ho H2, na hydrocarbons, ho vondrona atomika hidrôzenina sy atôma karbônina-hidrôzenina, ka mandray anjara amin'ny fiforonan'ny sarimihetsika manify diamondra. Koa satria ny plasma elektrôna cyclotron resonance dia afaka mamokatra plasma hakitroky avo lenta (>1x1011cm-3), ny ECR-MPECVD dia mety kokoa amin'ny fitomboana sy fametrahana sarimihetsika diamondra. Na izany aza, noho ny tsindry entona ambany (10-4- hatramin'ny 10-2 Torr) ampiasaina amin'ny dingana ECR, izay miteraka tahan'ny fametrahana sarimihetsika diamondra ambany, ity fomba ity amin'izao fotoana izao dia mety amin'ny fametrahana sarimihetsika diamondra ao amin'ny laboratoara ihany.
–Navoakan'ny mpanamboatra milina fandokoana banga Guangdong Zhenhua ity lahatsoratra ity
Fotoana fandefasana: 19 Jona 2024