(3) ການໃຊ້ຄື້ນຄວາມຖີ່ວິທະຍຸ Plasma CVD (RFCVD) RF ສາມາດນຳໃຊ້ເພື່ອສ້າງ plasma ໄດ້ໂດຍສອງວິທີທີ່ແຕກຕ່າງກັນຄື ວິທີການເຊື່ອມຕໍ່ແບບ capacitive ແລະ ວິທີການເຊື່ອມຕໍ່ແບບ inductive. RF plasma CVD ໃຊ້ຄວາມຖີ່ 13.56 MHz. ຂໍ້ດີຂອງ RF plasma ແມ່ນມັນແຜ່ກະຈາຍໄປທົ່ວພື້ນທີ່ໃຫຍ່ກວ່າ microwave plasma. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຂໍ້ຈຳກັດຂອງ RF capacitively coupled plasma ແມ່ນວ່າຄວາມຖີ່ຂອງ plasma ບໍ່ເໝາະສົມສຳລັບການ sputtering, ໂດຍສະເພາະຖ້າ plasma ມີ argon. Capacitively coupled plasma ບໍ່ເໝາະສົມສຳລັບການປູກຟິມເພັດທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ເນື່ອງຈາກການລະເບີດຂອງໄອອອນຈາກ plasma ສາມາດນຳໄປສູ່ຄວາມເສຍຫາຍຮ້າຍແຮງຕໍ່ເພັດ. ຟິມເພັດ polycrystalline ໄດ້ຖືກປູກໂດຍໃຊ້ RF induced plasma ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການວາງຊັ້ນຄ້າຍຄືກັບ microwave plasma CVD. ຟິມເພັດ epitaxial ທີ່ເປັນເອກະພາບຍັງໄດ້ຮັບໂດຍໃຊ້ RF-induced plasma-enhanced CVD.
(4) ວົງຈອນຊີວິດ DC Plasma
ພລາສມາ DC ເປັນອີກວິທີໜຶ່ງໃນການກະຕຸ້ນແຫຼ່ງອາຍແກັສ (ໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນສ່ວນປະສົມຂອງ H2 ແລະອາຍແກັສໄຮໂດຄາບອນ) ສຳລັບການເຕີບໂຕຂອງຟິມເພັດ. CVD ທີ່ມີ plasma ຊ່ວຍໂດຍ DC ມີຄວາມສາມາດໃນການປູກຟິມເພັດໃນພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່, ແລະຂະໜາດຂອງພື້ນທີ່ການເຕີບໂຕແມ່ນຖືກຈຳກັດໂດຍຂະໜາດຂອງເອເລັກໂຕຣດ ແລະແຫຼ່ງພະລັງງານ DC ເທົ່ານັ້ນ. ຂໍ້ໄດ້ປຽບອີກອັນໜຶ່ງຂອງ CVD ທີ່ມີ plasma ຊ່ວຍໂດຍ DC ແມ່ນການສ້າງການສີດ DC, ແລະຟິມເພັດທົ່ວໄປທີ່ໄດ້ຮັບຈາກລະບົບນີ້ຖືກຝາກໄວ້ໃນອັດຕາ 80 ມມ/ຊົ່ວໂມງ. ນອກຈາກນັ້ນ, ເນື່ອງຈາກວິທີການ DC arc ຕ່າງໆສາມາດຝາກຟິມເພັດທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໃສ່ຊັ້ນທີ່ບໍ່ແມ່ນເພັດໃນອັດຕາການຝາກສູງ, ພວກມັນຈຶ່ງເປັນວິທີການທີ່ຕະຫຼາດສາມາດຝາກຟິມເພັດໄດ້.
(5) ການວາງໄອນ້ຳເຄມີທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນດ້ວຍພລາສມາໄມໂຄເວຟແບບສະທ້ອນແສງອີເລັກຕຣອນໄຊໂຄລຕຣອນ (ECR-MPECVD) ພລາສມາ DC, ພລາສມາ RF, ແລະ ພລາສມາໄມໂຄເວຟທີ່ໄດ້ອະທິບາຍໄວ້ກ່ອນໜ້ານີ້ ລ້ວນແຕ່ແຍກຕົວ ແລະ ຍ່ອຍສະຫຼາຍ H2, ຫຼື ໄຮໂດຄາບອນ, ເຂົ້າໄປໃນກຸ່ມໄຮໂດຣເຈນອະຕອມ ແລະ ກຸ່ມອະຕອມຄາບອນ-ໄຮໂດຣເຈນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການສ້າງຟິມບາງໆຂອງເພັດ. ເນື່ອງຈາກພລາສມາໄມໂຄລຕຣອນແບບສະທ້ອນແສງອີເລັກຕຣອນສາມາດຜະລິດພລາສມາທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ (>1x1011cm-3), ECR-MPECVD ຈຶ່ງເໝາະສົມກວ່າສຳລັບການເຕີບໂຕ ແລະ ການວາງຟິມເພັດ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເນື່ອງຈາກຄວາມດັນອາຍແກັສຕ່ຳ (10-4- ຫາ 10-2 Torr) ທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ ECR, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ອັດຕາການວາງຟິມເພັດຕ່ຳ, ວິທີການດັ່ງກ່າວໃນປະຈຸບັນນີ້ເໝາະສົມສຳລັບການວາງຟິມເພັດໃນຫ້ອງທົດລອງເທົ່ານັ້ນ.
– ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດ Guangdong Zhenhua
ເວລາໂພສ: 19 ມິຖຸນາ 2024