(3) ریڈیو فریکوئنسی پلازما CVD (RFCVD)RF کو دو مختلف طریقوں سے پلازما بنانے کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے، capacitive Coupling Method اور inductive Coupling Method۔ RF پلازما CVD 13.56 MHz کی فریکوئنسی استعمال کرتا ہے۔ RF پلازما کا فائدہ یہ ہے کہ یہ مائیکرو ویو کی حد سے زیادہ پلازما کی حد سے زیادہ پھیلتا ہے۔ RF capacitively کپلڈ پلازما یہ ہے کہ پلازما کی فریکوئنسی پھٹنے کے لیے بہترین نہیں ہے، خاص طور پر اگر پلازما میں argon ہو۔ Capacitively Copled پلازما اعلیٰ معیار کی ڈائمنڈ فلموں کو اگانے کے لیے موزوں نہیں ہے کیونکہ پلازما سے آئن کی بمباری سے ہیرے کو شدید نقصان پہنچ سکتا ہے۔ پولی کرسٹل لائن ڈائمنڈ فلمیں مائیکرو ویو پلازما CVD کی طرح جمع ہونے والی حالتوں میں RF انڈسڈ پلازما کا استعمال کرتے ہوئے اگائی گئی ہیں۔ RF-حوصلہ افزائی پلازما سے بہتر CVD کا استعمال کرتے ہوئے ہم جنس ایپیٹیکسیل ڈائمنڈ فلمیں بھی حاصل کی گئی ہیں۔
(4) ڈی سی پلازما سی وی ڈی
ڈی سی پلازما ڈائمنڈ فلم کی نمو کے لیے گیس کے منبع (عام طور پر H2، اور ہائیڈرو کاربن گیس کا مرکب) کو چالو کرنے کا ایک اور طریقہ ہے۔ DC پلازما کی مدد سے CVD میں ڈائمنڈ فلموں کے بڑے حصے کو اگانے کی صلاحیت ہوتی ہے، اور گروتھ ایریا کا سائز صرف الیکٹروڈز کے سائز تک محدود ہوتا ہے اور DC تھری ڈی سی پاور سپلائی کا فائدہ ہوتا ہے۔ ایک DC انجیکشن کا، اور اس سسٹم کے ذریعے حاصل کی جانے والی عام ڈائمنڈ فلمیں 80 ملی میٹر فی گھنٹہ کی شرح سے جمع کی جاتی ہیں۔ اس کے علاوہ، چونکہ ڈی سی آرک کے مختلف طریقے اعلیٰ معیار کی ہیرے کی فلموں کو غیر ہیرے کے ذیلی ذخیرے پر اعلیٰ جمع کرنے کی شرح پر جمع کر سکتے ہیں، اس لیے وہ ہیرے کی فلموں کو جمع کرنے کے لیے ایک قابل بازار طریقہ فراہم کرتے ہیں۔
(5) الیکٹران سائکلوٹرون ریزوننس مائکروویو پلازما بڑھا ہوا کیمیائی بخارات جمع (ECR-MPECVD) ڈی سی پلازما، آر ایف پلازما، اور مائکروویو پلازما جو پہلے بیان کیا گیا ہے تمام H2، یا ہائیڈرو کاربن، کو جوہری ہائیڈروجن اور کاربن ہائیڈروجن کے گروپوں میں تقسیم اور تحلیل کرتے ہیں فلمیں چونکہ الیکٹران سائکلوٹرون ریزوننس پلازما ہائی ڈینسٹی پلازما (>1x1011cm-3) پیدا کر سکتا ہے، اس لیے ECR-MPECVD ڈائمنڈ فلموں کی نشوونما اور جمع کرنے کے لیے زیادہ موزوں ہے۔ تاہم، ECR کے عمل میں استعمال ہونے والے گیس کے کم دباؤ (10-4- سے 10-2 Torr) کی وجہ سے، جس کے نتیجے میں صرف ڈیمنڈ کی شرح کم ہو جاتی ہے۔ لیبارٹری میں ہیرے کی فلموں کا ذخیرہ۔
-یہ مضمون ویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والی کمپنی گوانگ ڈونگ زینہوا نے جاری کیا ہے۔
پوسٹ ٹائم: جون-19-2024