(3) ប្លាស្មាប្រេកង់វិទ្យុ CVD (RFCVD) RF អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតប្លាស្មាដោយវិធីសាស្រ្តពីរផ្សេងគ្នា គឺវិធីសាស្រ្តភ្ជាប់ capacitive និងវិធីសាស្រ្តភ្ជាប់ inductive។ ប្លាស្មា RF CVD ប្រើប្រេកង់ 13.56 MHz។ គុណសម្បត្តិនៃប្លាស្មា RF គឺថាវាសាយភាយលើផ្ទៃធំជាងប្លាស្មាមីក្រូវ៉េវ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ដែនកំណត់នៃប្លាស្មាភ្ជាប់ capacitive RF គឺថាប្រេកង់នៃប្លាស្មាមិនល្អប្រសើរសម្រាប់ការ sputtering ជាពិសេសប្រសិនបើប្លាស្មាមាន argon។ ប្លាស្មាភ្ជាប់ capacitive មិនស័ក្តិសមសម្រាប់ការដាំដុះខ្សែភាពយន្តពេជ្រដែលមានគុណភាពខ្ពស់ទេ ព្រោះការទម្លាក់អ៊ីយ៉ុងពីប្លាស្មាអាចនាំឱ្យមានការខូចខាតយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ពេជ្រ។ ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ polycrystalline ត្រូវបានដាំដុះដោយប្រើប្លាស្មាដែលបង្កឡើងដោយ RF ក្រោមលក្ខខណ្ឌការដាក់ស្រដៀងគ្នាទៅនឹងប្លាស្មាមីក្រូវ៉េវ CVD។ ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ epitaxial ដូចគ្នាក៏ត្រូវបានទទួលបានដោយប្រើ CVD ដែលបង្កើនប្លាស្មាដែលបង្កឡើងដោយ RF។
(4) CVD ប្លាស្មា DC
ប្លាស្មា DC គឺជាវិធីសាស្ត្រមួយផ្សេងទៀតនៃការធ្វើឱ្យប្រភពឧស្ម័នសកម្ម (ជាទូទៅគឺជាល្បាយនៃ H2 និងឧស្ម័នអ៊ីដ្រូកាបូន) សម្រាប់ការលូតលាស់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ។ បច្ចេកវិទ្យា CVD ដែលមានជំនួយពីប្លាស្មា DC មានសមត្ថភាពដាំដុះតំបន់ធំៗនៃខ្សែភាពយន្តពេជ្រ ហើយទំហំនៃតំបន់លូតលាស់ត្រូវបានកំណត់ដោយទំហំនៃអេឡិចត្រូត និងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល DC ប៉ុណ្ណោះ។ អត្ថប្រយោជន៍មួយទៀតនៃបច្ចេកវិទ្យា CVD ដែលមានជំនួយពីប្លាស្មា DC គឺការបង្កើតការចាក់ DC ហើយខ្សែភាពយន្តពេជ្រធម្មតាដែលទទួលបានដោយប្រព័ន្ធនេះត្រូវបានដាក់ក្នុងអត្រា 80 មីលីម៉ែត្រ/ម៉ោង។ លើសពីនេះ ដោយសារវិធីសាស្ត្រធ្នូ DC ផ្សេងៗអាចដាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រដែលមានគុណភាពខ្ពស់លើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមិនមែនជាពេជ្រក្នុងអត្រាដាក់ខ្ពស់ ពួកវាផ្តល់នូវវិធីសាស្ត្រដែលអាចលក់បានសម្រាប់ការដាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ។
(5) ការដាក់លោហៈធាតុគីមីដោយប្រើចំហាយទឹកអេឡិចត្រូនស៊ីក្លូត្រុង (ECR-MPECVD) ប្លាស្មា DC ប្លាស្មា RF និងប្លាស្មាមីក្រូវ៉េវដែលបានពិពណ៌នាខាងលើ ទាំងអស់បំបែក និងរលួយ H2 ឬអ៊ីដ្រូកាបូន ទៅជាក្រុមអាតូមអ៊ីដ្រូសែន និងក្រុមអាតូមកាបូន-អ៊ីដ្រូសែន ដោយហេតុនេះរួមចំណែកដល់ការបង្កើតខ្សែភាពយន្តស្តើងពេជ្រ។ ដោយសារប្លាស្មាសំឡេងអេឡិចត្រូនស៊ីក្លូត្រុងអាចផលិតប្លាស្មាដង់ស៊ីតេខ្ពស់ (>1x1011cm-3) ECR-MPECVD គឺស័ក្តិសមជាងសម្រាប់ការលូតលាស់ និងការដាក់លោហៈធាតុពេជ្រ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ដោយសារតែសម្ពាធឧស្ម័នទាប (10-4- ដល់ 10-2 Torr) ដែលប្រើក្នុងដំណើរការ ECR ដែលបណ្តាលឱ្យមានអត្រាការដាក់លោហៈធាតុពេជ្រទាប វិធីសាស្ត្រនេះបច្ចុប្បន្នស័ក្តិសមសម្រាប់តែការដាក់លោហៈធាតុពេជ្រនៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ប៉ុណ្ណោះ។
– អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលី Guangdong Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៩ ខែមិថុនា ឆ្នាំ ២០២៤