(3) CVD-и плазмавии радиоӣ (RFCVD) RF-ро барои тавлиди плазма бо ду усули гуногун, усули пайвасткунии сиғимӣ ва усули пайвасткунии индуктивӣ истифода бурдан мумкин аст. CVD-и плазмавии RF басомади 13.56 МГц-ро истифода мебарад. Бартарии плазмаи RF дар он аст, ки он дар масоҳати хеле калонтар аз плазмаи микроволновка паҳн мешавад. Аммо, маҳдудияти плазмаи пайвастшудаи сиғимӣ дар он аст, ки басомади плазма барои пошидан оптималӣ нест, хусусан агар плазма аргон дошта бошад. Плазмаи пайвастшудаи сиғимӣ барои парвариши плёнкаҳои алмосии баландсифат мувофиқ нест, зеро бомбаборони ион аз плазма метавонад ба осеби ҷиддӣ ба алмос оварда расонад. Плёнкаҳои алмосии поликристаллӣ бо истифода аз плазмаи индуксияшудаи RF дар шароити таҳшиншавӣ монанд ба CVD-и плазмавии микроволновка парвариш карда шудаанд. Плёнкаҳои алмосии эпитаксиалии якхела инчунин бо истифода аз CVD-и плазмаи такмилёфтаи RF ба даст оварда шудаанд.
(4) CVD плазмавии DC
Плазмаи DC усули дигари фаъолсозии манбаи газ (одатан омехтаи H2 ва гази гидрокарбон) барои афзоиши плёнкаи алмос мебошад. CVD бо ёрии плазмаи DC қобилияти парвариши майдонҳои калони плёнкаҳои алмосро дорад ва андозаи майдони афзоиш танҳо бо андозаи электродҳо ва манбаи барқи DC маҳдуд аст. Бартарии дигари CVD бо ёрии плазмаи DC ташаккули тазриқи DC мебошад ва плёнкаҳои маъмулии алмос, ки тавассути ин система ба даст оварда мешаванд, бо суръати 80 мм/соат ҷойгир карда мешаванд. Илова бар ин, азбаски усулҳои гуногуни камони DC метавонанд плёнкаҳои алмосии баландсифатро дар субстратҳои ғайриалмосӣ бо суръати баланди ҷойгиркунӣ ҷойгир кунанд, онҳо усули бозоргирро барои ҷойгиркунии плёнкаҳои алмосӣ фароҳам меоранд.
(5) Плазмаи резонансии электронии сиклотрон-резонансии микроволновкаи пурқувватшудаи буғҳои кимиёвӣ (ECR-MPECVD) Плазмаи DC, плазмаи RF ва плазмаи микроволновка, ки қаблан тавсиф шуда буданд, ҳама H2 ё гидрокарбонҳоро ба гурӯҳҳои атомии гидроген ва атомҳои карбон-гидроген ҷудо ва таҷзия мекунанд ва бо ин васила ба ташаккули плёнкаҳои тунуки алмос мусоидат мекунанд. Азбаски плазмаи резонансии электронии сиклотрон метавонад плазмаи зичии баланд (>1x1011cm-3) истеҳсол кунад, ECR-MPECVD барои афзоиш ва таҳшиншавии плёнкаҳои алмос мувофиқтар аст. Аммо, аз сабаби фишори пасти газ (10-4- то 10-2 Торр), ки дар раванди ECR истифода мешавад ва боиси суръати пасти таҳшиншавии плёнкаҳои алмос мегардад, ин усул айни замон танҳо барои таҳшиншавии плёнкаҳои алмос дар лаборатория мувофиқ аст.
–Ин мақола аз ҷониби истеҳсолкунандаи мошини рӯйпӯшкунии вакуумӣ дар Гуандун Чжэнхуа нашр шудааст.
Вақти нашр: 19 июни соли 2024