Ìmọ̀-ẹ̀rọ àwọn fíìmù oníwọ̀n dídì-orí 2

(3) A le lo CVD (RFVVD)RF lati se ina plasma nipase ona meji ti o yatọ, ona isopo capacitive ati ona isopo inductive. CVD plasma RF nlo igbohunsafẹfẹ ti 13.56 MHz. Anfani plasma RF ni pe o tan kaakiri agbegbe ti o tobi ju plasma microwave lọ. Sibẹsibẹ, opin plasma ti a so mọ capacitively ni pe igbohunsafẹfẹ plasma ko dara julọ fun sputtering, paapaa ti plasma ba ni argon. Plasma ti a so mọ capacitively ko dara fun dida awọn fiimu diamond didara giga nitori bombardment ion lati plasma le ja si ibajẹ nla si diamond. Awọn fiimu diamond polycrystalline ti dagba nipa lilo plasma ti a fa nipasẹ RF labẹ awọn ipo ifipamọ ti o jọra si plasma microwave CVD. Awọn fiimu diamond epitaxial homogeneous tun ti gba nipa lilo CVD ti a mu pọ mọ plasma ti a mu pọ si RF.

(4) CVD plasma DC

Plasma DC jẹ́ ọ̀nà mìíràn láti mú orísun gaasi ṣiṣẹ́ (ní gbogbogbòò àdàpọ̀ H2, àti gaasi hydrocarbon) fún ìdàgbàsókè fíìmù diamond. CVD tí a fi plasma ṣe ìrànlọ́wọ́ DC ní agbára láti gbin àwọn agbègbè ńlá ti àwọn fíìmù diamond, àti pé ìwọ̀n agbègbè ìdàgbàsókè náà ní ààlà nípa ìwọ̀n àwọn elekitirodu àti ìpèsè agbára DC nìkan. Àǹfààní mìíràn ti CVD tí a fi plasma ṣe ìrànlọ́wọ́ DC ni ìṣẹ̀dá abẹ́rẹ́ DC, àti àwọn fíìmù diamond tí a rí gbà tí ètò yìí gbà ni a fi pamọ́ ní ìwọ̀n 80 mm/h. Ní àfikún, níwọ̀n ìgbà tí onírúurú ọ̀nà DC arc lè fi àwọn fíìmù diamond tí ó dára sí orí àwọn substrates tí kì í ṣe diamond ní ìwọ̀n ìdúró gíga, wọ́n pèsè ọ̀nà tí a lè tà fún ìdúró àwọn fíìmù diamond.

(5) Ìdásílẹ̀ ìgbóná omi ẹ̀rọ amúlétutù oníná (ECR-MPECVD) Ìdásílẹ̀ ìgbóná omi ẹ̀rọ amúlétutù oníná (Electron cyclotron resonance microwave) Ìdásílẹ̀ ìgbóná omi ẹ̀rọ amúlétutù oníná (ECR-MPECVD) Ìdásílẹ̀ ìgbóná omi ẹ̀rọ amúlétutù oníná (CV) ti DC, ìṣàfihàn RF, àti ìṣàfihàn omi ẹ̀rọ amúlétutù ni a ti ṣàlàyé tẹ́lẹ̀ pé gbogbo wọn máa ń yapa, tàbí àwọn hydrocarbons, sí àwọn ẹgbẹ́ hydrogen àti carbon-hydrogen atom, èyí tí ó ń ṣe àfikún sí ìṣẹ̀dá àwọn fíìmù diamond tín-ín-rín. Níwọ́n ìgbà tí ìṣàfihàn electron cyclotron resonance plasma lè mú kí plasma tí ó ga (>1x1011cm-3) jáde, ECR-MPECVD dára jù fún ìdàgbàsókè àti ìdàsílẹ̀ àwọn fíìmù diamond. Síbẹ̀síbẹ̀, nítorí ìfúnpá gaasi kékeré (10-4- sí 10-2 Torr) tí a lò nínú ìlànà ECR, èyí tí ó ń yọrí sí ìwọ̀n ìdàsílẹ̀ ìgbóná omi ẹ̀rọ amúlétutù oníná, ọ̀nà náà wà fún ìdàsílẹ̀ àwọn fíìmù diamond nínú yàrá ìwádìí.

–Ẹ̀rọ ìbòrí ìgbálẹ̀ Guangdong Zhenhua ló gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde.