(3) রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি প্লাজমা সিভিডি (RFCVD) আরএফ (RF) ব্যবহার করে দুটি ভিন্ন পদ্ধতিতে প্লাজমা তৈরি করা যায়, ক্যাপাসিটিভ কাপলিং পদ্ধতি এবং ইন্ডাকটিভ কাপলিং পদ্ধতি। আরএফ প্লাজমা সিভিডি 13.56 মেগাহার্টজ ফ্রিকোয়েন্সি ব্যবহার করে। আরএফ প্লাজমার সুবিধা হলো এটি মাইক্রোওয়েভ প্লাজমার চেয়ে অনেক বড় এলাকা জুড়ে ছড়িয়ে পড়ে। তবে, আরএফ ক্যাপাসিটিভলি কাপলড প্লাজমার সীমাবদ্ধতা হলো প্লাজমার ফ্রিকোয়েন্সি স্পাটারিংয়ের জন্য সর্বোত্তম নয়, বিশেষ করে যদি প্লাজমাতে আর্গন থাকে। ক্যাপাসিটিভলি কাপলড প্লাজমা উচ্চ মানের ডায়মন্ড ফিল্ম তৈরির জন্য উপযুক্ত নয় কারণ প্লাজমা থেকে আয়ন বোমাবর্ষণের ফলে ডায়মন্ডের মারাত্মক ক্ষতি হতে পারে। মাইক্রোওয়েভ প্লাজমা সিভিডির অনুরূপ ডিপোজিশন পরিস্থিতিতে আরএফ ইন্ডুসড প্লাজমা ব্যবহার করে পলিক্রিস্টালাইন ডায়মন্ড ফিল্ম তৈরি করা হয়েছে। আরএফ-ইন্ডুসড প্লাজমা-এনহ্যান্সড সিভিডি ব্যবহার করে হোমোজেনিয়াস এপিটেক্সিয়াল ডায়মন্ড ফিল্মও পাওয়া গেছে।
(4) ডিসি প্লাজমা সিভিডি
ডায়মন্ড ফিল্ম তৈরির জন্য গ্যাস উৎসকে (সাধারণত H2 এবং হাইড্রোকার্বন গ্যাসের মিশ্রণ) সক্রিয় করার আরেকটি পদ্ধতি হলো ডিসি প্লাজমা। ডিসি প্লাজমা-সহায়ক সিভিডির মাধ্যমে বড় এলাকা জুড়ে ডায়মন্ড ফিল্ম তৈরি করা যায় এবং এর বৃদ্ধির এলাকার আকার শুধুমাত্র ইলেকট্রোড ও ডিসি পাওয়ার সাপ্লাইয়ের আকারের উপর নির্ভর করে। ডিসি প্লাজমা-সহায়ক সিভিডির আরেকটি সুবিধা হলো ডিসি ইনজেকশন গঠন করা, এবং এই পদ্ধতিতে সাধারণত প্রতি ঘণ্টায় ৮০ মিলিমিটার হারে ডায়মন্ড ফিল্ম জমা হয়। এছাড়াও, যেহেতু বিভিন্ন ডিসি আর্ক পদ্ধতি উচ্চ হারে অ-ডায়মন্ড সাবস্ট্রেটের উপর উচ্চ-মানের ডায়মন্ড ফিল্ম জমা করতে পারে, তাই এগুলো ডায়মন্ড ফিল্ম জমার জন্য একটি বাজারজাতযোগ্য পদ্ধতি হিসেবে বিবেচিত হয়।
(5) ইলেকট্রন সাইক্লোট্রন রেজোন্যান্স মাইক্রোওয়েভ প্লাজমা এনহ্যান্সড কেমিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন (ECR-MPECVD) পূর্বে বর্ণিত ডিসি প্লাজমা, আরএফ প্লাজমা এবং মাইক্রোওয়েভ প্লাজমা সকলেই H2, বা হাইড্রোকার্বনকে, পারমাণবিক হাইড্রোজেন এবং কার্বন-হাইড্রোজেন পরমাণু গ্রুপে বিভক্ত ও বিয়োজিত করে, যার ফলে ডায়মন্ড থিন ফিল্ম গঠনে সহায়তা করে। যেহেতু ইলেকট্রন সাইক্লোট্রন রেজোন্যান্স প্লাজমা উচ্চ ঘনত্বের প্লাজমা (>1x1011cm-3) তৈরি করতে পারে, তাই ডায়মন্ড ফিল্মের বৃদ্ধি এবং জমার জন্য ECR-MPECVD বেশি উপযুক্ত। যাইহোক, ECR প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত কম গ্যাস চাপের (10-4- থেকে 10-2 টর) কারণে, যা ডায়মন্ড ফিল্মের জমার হার কম করে, এই পদ্ধতিটি বর্তমানে শুধুমাত্র পরীক্ষাগারে ডায়মন্ড ফিল্ম জমার জন্য উপযুক্ত।
–এই নিবন্ধটি ভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারক গুয়াংডং ঝেনহুয়া প্রকাশ করেছে।
পোস্ট করার সময়: জুন-১৯-২০২৪