(3) RF-ga Fiirfiirinta ee Plasma CVD (RFCVD) waxaa loo isticmaali karaa in lagu soo saaro balaasmaha laba hab oo kala duwan, habka isku xidhka capacitive iyo habka isku xidhka inductive. RF plasma CVD wuxuu isticmaalaa soo noqnoqosho dhan 13.56 MHz. Faa'iidada balaasmaha RF waa inuu ku faafo meel aad uga weyn balaasmaha microwave-ka. Si kastaba ha ahaatee, xaddidaadda balaasmaha capacitively cooked RF ayaa ah in soo noqnoqoshada balaasmaha aysan ku habboonayn in la shubo, gaar ahaan haddii balaasmaha uu ka kooban yahay argon. Balaasmaha capacitively cooked kuma habboona in la koro filimada dheemanka tayo sare leh maadaama duqeynta ion ee ka timaadda balaasmaha ay keeni karto waxyeello daran oo dheemanka ah. Filimada dheemanka polycrystalline waxaa lagu koray iyadoo la isticmaalayo balaasmaha RF ee la soo saaray xaaladaha dhigista oo la mid ah balaasmaha microwave-ka CVD. Filimada dheemanka epitaxial ee isku dhafan ayaa sidoo kale laga helay iyadoo la isticmaalayo CVD-ga balaasmaha ee RF-ku-kordhiyay.
(4) CVD-ga Balaasmaha ee DC
Balaasma DC waa hab kale oo lagu kiciyo isha gaaska (guud ahaan isku darka H2, iyo gaaska hydrocarbon) si loo kordhiyo filimka dheemanka. CVD-ga caawiya balaasma DC wuxuu leeyahay awood uu ku beero meelo badan oo filimada dheemanka ah, cabbirka aagga koritaankana waxaa xaddidaya oo keliya cabbirka elektroodhada iyo korontada DC. Faa'iidada kale ee CVD-ga caawiya balaasma DC waa sameynta duritaan DC ah, filimada dheemanka caadiga ah ee laga helo nidaamkan waxaa lagu shubaa heer ah 80 mm/saacaddii. Intaa waxaa dheer, maadaama hababka kala duwan ee DC arc ay ku shubi karaan filimada dheemanka tayo sare leh substrates aan dheeman ahayn oo leh heer sare oo dhigista, waxay bixiyaan hab suuqgeyn ah oo loogu talagalay dhigista filimada dheemanka.
(5) Bakhaarka uumiga kiimikada ee elektaroonigga ah ee loo yaqaan 'electron cyclotron resonance microwave' (ECR-MPECVD) Balaasma-da DC, Balaasma-da RF, iyo Balaasma-da microwave-ka ayaa hore loogu sharraxay dhammaantood waxay kala tagaan oo burburiyaan H2, ama hydrocarbons, una beddelaan kooxo atom ah oo ah hydrogen iyo kaarboon-haydrojiin, taasoo gacan ka geysaneysa sameynta filimaan khafiif ah oo dheeman ah. Maadaama balaasma-da electron cyclotron resonance ay soo saari karto balaasma-da cufnaanta sare leh (>1x1011cm-3), ECR-MPECVD waxay ku habboon tahay koritaanka iyo dhigista filimada dheemanka. Si kastaba ha ahaatee, sababtoo ah cadaadiska gaaska oo hooseeya (10-4- ilaa 10-2 Torr) ee loo isticmaalo habka ECR, kaas oo keena heer hoose oo dhigista filimada dheemanka ah, habkani hadda wuxuu ku habboon yahay oo keliya dhigista filimada dheemanka ee shaybaarka.
–Maqaalkan waxaa soo saartay soo saaraha mashiinka dahaarka faakuumka Guangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Juun-19-2024