የአልማዝ ቀጭን ፊልሞች ቴክኖሎጂ - ምዕራፍ 2

(3) የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ ፕላዝማ ሲቪዲ (RFCVD)RF ፕላዝማ በሁለት የተለያዩ ዘዴዎች ለማመንጨት ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል፤ እነሱም የካፓሲቲቭ ኮኔክሽን ዘዴ እና የኢንዳክቲቭ ኮኔክሽን ዘዴ ናቸው። የRF ፕላዝማ ሲቪዲ 13.56 ሜኸዝ ድግግሞሽ ይጠቀማል። የRF ፕላዝማ ጥቅም ከማይክሮዌቭ ፕላዝማ በጣም ሰፊ በሆነ ቦታ ላይ መሰራጨቱ ነው። ሆኖም፣ የRF capacitively coupled ፕላዝማ ውስንነት የፕላዝማ ድግግሞሽ ለመበተን ተስማሚ አይደለም፣ በተለይም ፕላዝማ አርጎን የያዘ ከሆነ። ከፕላዝማ የሚወጣው የአዮን ቦምብ በአልማዝ ላይ ከባድ ጉዳት ሊያስከትል ስለሚችል በካፓሲቲቭly coupled ፕላዝማ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የአልማዝ ፊልሞችን ለማሳደግ ተስማሚ አይደለም። ፖሊክሪስታሊን የአልማዝ ፊልሞች ከማይክሮዌቭ ፕላዝማ ሲቪዲ ጋር ተመሳሳይ በሆነ የማጠራቀሚያ ሁኔታዎች ውስጥ በRF የሚመነጨውን ፕላዝማ በመጠቀም ይበቅላሉ። ሆሞጂኔይ ኤፒታክሲያል አልማዝ ፊልሞች በRF-induced ፕላዝማ-የተሻሻለ CVD በመጠቀም ተገኝተዋል።

(4) የዲሲ ፕላዝማ ሲቪዲ

የዲሲ ፕላዝማ የአልማዝ ፊልም እድገትን የጋዝ ምንጭ (በአጠቃላይ የH2 እና የሃይድሮካርቦን ጋዝ ድብልቅ) ለማግበር ሌላ ዘዴ ነው። የዲሲ ፕላዝማ የታገዘ CVD ትላልቅ የአልማዝ ፊልሞችን አካባቢዎች የማብቀል ችሎታ አለው፣ እና የእድገት ቦታው መጠን የተገደበው በኤሌክትሮዶች መጠን እና በዲሲ የኃይል አቅርቦት ብቻ ነው። የዲሲ ፕላዝማ የታገዘ CVD ሌላው ጥቅም የዲሲ መርፌ መፈጠር ነው፣ እና በዚህ ስርዓት የተገኙ የተለመዱ የአልማዝ ፊልሞች በ80 ሚሜ/ሰአት ፍጥነት ይቀመጣሉ። በተጨማሪም፣ የተለያዩ የዲሲ ቅስት ዘዴዎች ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የአልማዝ ፊልሞችን በከፍተኛ ክምችት መጠን በአልማዝ ባልሆኑ ንጣፎች ላይ ማስቀመጥ ስለሚችሉ፣ የአልማዝ ፊልሞችን ለማስቀመጥ ገበያዊ ዘዴ ይሰጣሉ።

(5) የኤሌክትሮን ሳይክሎትሮን ሬዞናንስ ማይክሮዌቭ ፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት (ECR-MPECVD) የዲሲ ፕላዝማ፣ የRF ፕላዝማ እና የማይክሮዌቭ ፕላዝማ ቀደም ሲል የተገለጹት ሁሉም H2 ወይም ሃይድሮካርቦኖችን ወደ አቶሚክ ሃይድሮጂን እና የካርቦን-ሃይድሮጂን አቶም ቡድኖች ይከፋፈላሉ እና ያፈርሳሉ፣ በዚህም የአልማዝ ቀጭን ፊልሞች እንዲፈጠሩ አስተዋጽኦ ያደርጋሉ። የኤሌክትሮን ሳይክሎትሮን ሬዞናንስ ፕላዝማ ከፍተኛ ጥግግት ያለው ፕላዝማ (>1x1011cm-3) ሊያመነጭ ስለሚችል፣ ECR-MPECVD የአልማዝ ፊልሞችን እድገት እና ክምችት የበለጠ ተስማሚ ነው። ሆኖም፣ በECR ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ በሚውለው ዝቅተኛ የጋዝ ግፊት (ከ10-4 እስከ 10-2 Torr) ምክንያት፣ ይህም ዝቅተኛ የአልማዝ ፊልሞችን የመቀነስ መጠን ያስከትላል፣ ዘዴው በአሁኑ ጊዜ በላብራቶሪ ውስጥ የአልማዝ ፊልሞችን ለማስቀመጥ ብቻ ተስማሚ ነው።

–ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራች ጓንግዶንግ ዠንሁዋ ነው።