(3) रेडियो फ्रीक्वेंसी प्लाज्मा सीवीडी (आरएफसीवीडी): आरएफ का उपयोग दो अलग-अलग विधियों, कैपेसिटिव कपलिंग विधि और इंडक्टिव कपलिंग विधि द्वारा प्लाज्मा उत्पन्न करने के लिए किया जा सकता है। आरएफ प्लाज्मा सीवीडी 13.56 मेगाहर्ट्ज की आवृत्ति का उपयोग करता है। आरएफ प्लाज्मा का लाभ यह है कि यह माइक्रोवेव प्लाज्मा की तुलना में बहुत बड़े क्षेत्र में फैलता है। हालांकि, आरएफ कैपेसिटिवली कपल्ड प्लाज्मा की सीमा यह है कि प्लाज्मा की आवृत्ति स्पटरिंग के लिए इष्टतम नहीं होती है, विशेष रूप से यदि प्लाज्मा में आर्गन मौजूद हो। कैपेसिटिवली कपल्ड प्लाज्मा उच्च गुणवत्ता वाली डायमंड फिल्मों के विकास के लिए उपयुक्त नहीं है क्योंकि प्लाज्मा से आयन बमबारी डायमंड को गंभीर नुकसान पहुंचा सकती है। माइक्रोवेव प्लाज्मा सीवीडी के समान निक्षेपण स्थितियों के तहत आरएफ प्रेरित प्लाज्मा का उपयोग करके पॉलीक्रिस्टलाइन डायमंड फिल्मों का विकास किया गया है। आरएफ-प्रेरित प्लाज्मा-संवर्धित सीवीडी का उपयोग करके सजातीय एपिटैक्सियल डायमंड फिल्में भी प्राप्त की गई हैं।
(4) डीसी प्लाज्मा सीवीडी
डीसी प्लाज्मा, डायमंड फिल्म के निर्माण के लिए गैस स्रोत (आमतौर पर H2 और हाइड्रोकार्बन गैस का मिश्रण) को सक्रिय करने की एक अन्य विधि है। डीसी प्लाज्मा-सहायता प्राप्त सीवीडी में डायमंड फिल्मों के बड़े क्षेत्रों को विकसित करने की क्षमता होती है, और विकास क्षेत्र का आकार केवल इलेक्ट्रोड और डीसी पावर सप्लाई के आकार तक ही सीमित होता है। डीसी प्लाज्मा-सहायता प्राप्त सीवीडी का एक अन्य लाभ डीसी इंजेक्शन का निर्माण है, और इस प्रणाली द्वारा प्राप्त विशिष्ट डायमंड फिल्मों को 80 मिमी/घंटा की दर से जमा किया जाता है। इसके अलावा, चूंकि विभिन्न डीसी आर्क विधियां उच्च जमाव दरों पर गैर-डायमंड सब्सट्रेट पर उच्च गुणवत्ता वाली डायमंड फिल्मों को जमा कर सकती हैं, इसलिए वे डायमंड फिल्मों के जमाव के लिए एक विपणन योग्य विधि प्रदान करती हैं।
(5) इलेक्ट्रॉन साइक्लोट्रॉन अनुनाद माइक्रोवेव प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प निक्षेपण (ईसीआर-एमपीईसीवीडी): पहले वर्णित डीसी प्लाज्मा, आरएफ प्लाज्मा और माइक्रोवेव प्लाज्मा सभी H2, या हाइड्रोकार्बन को परमाणु हाइड्रोजन और कार्बन-हाइड्रोजन परमाणु समूहों में विघटित और अपघटित करते हैं, जिससे हीरे की पतली फिल्मों के निर्माण में योगदान होता है। चूंकि इलेक्ट्रॉन साइक्लोट्रॉन अनुनाद प्लाज्मा उच्च घनत्व वाला प्लाज्मा (>1x10¹¹ सेमी⁻³) उत्पन्न कर सकता है, इसलिए ईसीआर-एमपीईसीवीडी हीरे की फिल्मों के विकास और निक्षेपण के लिए अधिक उपयुक्त है। हालांकि, ईसीआर प्रक्रिया में उपयोग किए जाने वाले कम गैस दबाव (10⁻⁴ से 10⁻² टॉर) के कारण, जिसके परिणामस्वरूप हीरे की फिल्मों की निक्षेपण दर कम होती है, यह विधि वर्तमान में केवल प्रयोगशाला में हीरे की फिल्मों के निक्षेपण के लिए उपयुक्त है।
यह लेख वैक्यूम कोटिंग मशीन निर्माता ग्वांगडोंग झेनहुआ द्वारा जारी किया गया है।
पोस्ट करने का समय: 19 जून 2024