. argon.Kapasitiv birleşdirilen plazma ýokary hilli göwher filmlerini ösdürip ýetişdirmek üçin amatly däl, sebäbi plazmadan ion bombalanmagy göwheriň uly zeperlenmegine sebäp bolup biler. Polikristally göwher filmleri, mikrotolkunly plazma CVD-e meňzeş çöketlik şertlerinde RF induksion plazmany ulanyp ösdürilip ýetişdirildi.
(4) DC Plazma CVD
DC plazmasy, göwher filminiň ösmegi üçin gaz çeşmesini (umuman H2 we uglewodorod gazynyň garyndysy) işjeňleşdirmegiň başga bir usulydyr. DC plazma goldawly CVD göwher filmleriniň uly ýerlerini ösdürip ýetişdirmäge ukyplydyr we ösüş meýdanynyň ululygy diňe elektrodlaryň we DC elektrik üpjünçiliginiň çäkliligi bilen çäklendirilýär. Mundan başga-da, dürli DC ýaý usullary ýokary hilli göwher filmlerini göwher däl substratlara ýokary depozit derejesinde goýup bilýändigi sebäpli, göwher filmlerini ýerleşdirmek üçin amatly usul bilen üpjün edýär.
. Elektron siklotron rezonans plazmasy ýokary dykyzlykly plazmany (> 1x1011cm-3) öndürip bilýändigi sebäpli, ECR-MPECVD göwher filmleriniň ösmegi we çökmegi üçin has amatlydyr. Şeýle-de bolsa, göwher filmleriniň pes depginine sebäp bolýan ECR prosesinde ulanylýan pes basyş sebäpli (10-4-10-2 Torr), bu usul häzirki wagtda diňe göwher filmleriniň laboratoriýasy üçin amatlydyr.
IsBu makala vakuum örtük maşyn öndürijisi Guangdong Zhenhua tarapyndan çykaryldy
Iş wagty: Iýun-19-2024