การรับสูญญากาศเรียกอีกอย่างว่า "การปั๊มสูญญากาศ" ซึ่งหมายถึงการใช้ปั๊มสูญญากาศที่แตกต่างกันเพื่อเอาอากาศภายในภาชนะออกไป เพื่อให้ความดันภายในพื้นที่ลดลงต่ำกว่าหนึ่งบรรยากาศ ในปัจจุบัน เพื่อให้ได้สูญญากาศและอุปกรณ์ที่ใช้กันทั่วไป ได้แก่ ปั๊มสูญญากาศเชิงกลแบบใบพัดหมุน ปั๊มรูท ปั๊มกระจายน้ำมัน ปั๊มโมเลกุลคอมโพสิต ปั๊มดูดซับตะแกรงโมเลกุล ปั๊มระเหิดไททาเนียม ปั๊มไอออนสปัตเตอร์ และปั๊มไครโอเจนิก เป็นต้น ในปั๊มเหล่านี้ ปั๊มสี่ตัวแรกจัดอยู่ในประเภทปั๊มถ่ายโอนก๊าซ (ปั๊มสูญญากาศถ่ายโอน) ซึ่งหมายความว่าโมเลกุลของก๊าซจะถูกดูดเข้าไปในปั๊มสูญญากาศอย่างต่อเนื่องและปล่อยออกสู่สภาพแวดล้อมภายนอกเพื่อให้เกิดการอพยพ ปั๊มสี่ตัวสุดท้ายจัดอยู่ในประเภทปั๊มจับก๊าซ (ปั๊มสูญญากาศจับ) ซึ่งควบแน่นด้วยโมเลกุลหรือเชื่อมติดทางเคมีบนผนังด้านในของห้องปั๊มเพื่อให้ได้สูญญากาศที่ต้องการ ปั๊มดูดก๊าซเรียกอีกอย่างว่าปั๊มสุญญากาศแบบปลอดน้ำมัน เนื่องจากไม่ใช้น้ำมันเป็นตัวกลางในการทำงาน แตกต่างจากปั๊มถ่ายเทซึ่งจะกำจัดก๊าซออกอย่างถาวร ปั๊มดูดบางชนิดสามารถย้อนกลับได้ ทำให้สามารถระบายก๊าซที่รวบรวมหรือควบแน่นกลับเข้าไปในระบบระหว่างกระบวนการให้ความร้อนได้
ปั๊มสูญญากาศแบบถ่ายโอนแบ่งออกเป็นสองประเภทหลัก ได้แก่ ปั๊มสูญญากาศแบบปริมาตรและแบบถ่ายโอนโมเมนตัม ปั๊มสูญญากาศแบบถ่ายโอนปริมาตรมักประกอบด้วยปั๊มเชิงกลแบบใบพัดหมุน ปั๊มวงแหวนของเหลว ปั๊มลูกสูบ และปั๊มรูทส์ ส่วนปั๊มสูญญากาศแบบถ่ายโอนโมเมนตัมมักประกอบด้วยปั๊มโมเลกุล ปั๊มเจ็ท ปั๊มกระจายน้ำมัน ปั๊มสูญญากาศแบบจับยึดมักประกอบด้วยปั๊มไอออนแบบดูดซับที่อุณหภูมิต่ำและแบบสปัตเตอร์
โดยทั่วไปกระบวนการเคลือบจะแตกต่างกัน สูญญากาศในห้องเคลือบสูญญากาศควรถึงระดับที่แตกต่างกัน และในเทคโนโลยีสูญญากาศ สูญญากาศพื้นหลัง (เรียกอีกอย่างว่าสูญญากาศที่แท้จริง) จะแสดงระดับของมัน สูญญากาศพื้นหลังหมายถึงสูญญากาศของห้องเคลือบสูญญากาศผ่านปั๊มสูญญากาศเพื่อตอบสนองความต้องการของกระบวนการเคลือบของสูญญากาศสูงสุด และขนาดของสูญญากาศนี้ ขึ้นอยู่กับความสามารถในการปั๊มสูญญากาศเป็นหลัก ห้องเคลือบสูญญากาศโดยระบบสูญญากาศ สูญญากาศสามารถเข้าถึงสูญญากาศสูงสุดได้ เรียกว่าสูญญากาศจำกัด (หรือแรงดันจำกัด) ตาราง 1-2 แสดงรายการช่วงแรงดันการทำงานของปั๊มสูญญากาศทั่วไปบางรุ่นและแรงดันสูงสุดที่สามารถรับได้ ส่วนที่แรเงาในตารางแสดงถึงแรงดันที่ปั๊มสูญญากาศแต่ละตัวสามารถรับได้เมื่อใช้ร่วมกับอุปกรณ์อื่น
–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว
เวลาโพสต์ : 30 ส.ค. 2567