Технологияи пӯшиши вакуумӣ технологияест, ки маводи плёнкаи борикро ба рӯи маводи субстрат дар муҳити вакуум мегузорад, ки дар электроника, оптика, бастабандӣ, ороиш ва дигар соҳаҳо васеъ истифода мешавад. Таҷҳизоти пӯшонидани вакуумро метавон асосан ба намудҳои зерин тақсим кард:
1. Таҷҳизоти молидани бухоршавии гармӣ: ин усули анъанавии молидани вакуумӣ мебошад, ки тавассути гарм кардани маводи филми тунук дар киштии бухоршавӣ, мавод бухор карда мешавад ва ба рӯи маводи оксиген гузошта мешавад.
2. Таҷҳизоти пӯшиши пошидани: бо истифода аз ионҳои энергияи баланд ба рӯи маводи мавриди ҳадаф, атомҳои маводи мавриди ҳадаф пошида мешаванд ва ба маводи оксиген ҷойгир карда мешаванд. Пӯшидани магнетрон қодир аст, ки пайвастагии якрангтар ва мустаҳкамтар аз филм ба даст орад, ки барои истеҳсоли омма мувофиқ аст.
3.Таҷҳизоти таҳшинсозии чӯби Ion: Нурҳои ионӣ барои гузоштани маводи филми тунук ба субстрат истифода мешаванд. Ин усул метавонад филмҳои хеле якхела ба даст орад ва барои ҳолатҳое, ки талаботи дақиқи баланд доранд, мувофиқ аст, аммо арзиши таҷҳизот баланд аст.
4. Таҷҳизоти таҳшини буғи кимиёвӣ (CVD): Тавассути реаксияи химиявӣ дар рӯи маводи зеризаминӣ филмҳои тунукро ба вуҷуд меорад. Бо ин усул плёнкахои сер-сифат тайёр кардан мумкин аст, вале тачхизот мураккаб ва серхарч аст.
5. Таҷҳизоти молекулии чӯби эпитаксия (MBE): Ин усули назорати афзоиши филмҳои тунук дар сатҳи атомӣ буда, асосан барои омода кардани қабатҳои ултра-тунук ва сохторҳои бисёрқабата барои барномаҳои нимноқилӣ ва нанотехнология истифода мешавад.
6. Таҷҳизоти таҳкими буғи кимиёвии плазма (PECVD): Ин усулест, ки плазмаро барои таҳкими таҳшиншавии филмҳои борик тавассути реаксияи кимиёвӣ истифода мебарад ва имкон медиҳад, ки дар ҳарорати пасттар қабатҳои тунук ба вуҷуд оянд.
7. Таҷҳизоти таҳшини лазерии импулсӣ (PLD): Инҳо импулсҳои лазерии пурқувватро барои зарба задан ба ҳадаф истифода мебаранд, маводро аз сатҳи ҳадаф бухор мекунанд ва ба субстрат мегузоранд ва барои парвариши филмҳои оксиди мураккаби босифат мувофиқанд.
Ҳар яке аз ин дастгоҳҳо дар тарҳрезӣ ва истифода хусусиятҳои худро доранд ва барои барномаҳои гуногуни саноатӣ ва соҳаҳои тадқиқот мувофиқанд. Бо рушди технология, технологияи пӯшиши вакуумӣ низ пеш меравад ва таҷҳизоти нави пӯшиши вакуумӣ низ пайдо мешавад.
-Ин мақоларо нашр кардаастмошини пӯшонидани вакуумӣИстеҳсолкунандаи Guangdong Zhenhua
Вақти фиристодан: июн-12-2024