Ба хосиятҳои механикии қабати мембрана часпак, фишор, зичии агрегатсия ва ғайра таъсир мерасонад. Аз робитаи байни маводи қабати мембрана ва омилҳои равандӣ дида мешавад, ки агар мо устувории механикии қабати мембранаро беҳтар карданӣ бошем, мо бояд ба параметрҳои зерини раванд таваҷҷӯҳ кунем.
(1) сатҳи вакуум. Вакуум дар намоиши фильм хеле равшан аст. Аксари нишондиҳандаҳои иҷрои қабати филм аз сатҳи вакуум хеле вобастаанд. Одатан, баробари баланд шудани дараҷаи вакуум, зичии агрегатсияи плёнка зиёд мешавад, устуворӣ меафзояд, сохтори плёнка беҳтар мешавад, таркиби химиявӣ пок мешавад, аммо дар айни замон фишор низ меафзояд.
(2) Меъёри пасандоз. Беҳтар кардани суръати таҳшин на танҳо метавонад барои беҳтар кардани суръати бухоршавӣ истифода шавад, яъне баланд бардоштани равиши ҳарорати манбаи бухоршавӣ, инчунин метавонад барои баланд бардоштани равиши майдони бухоршавӣ ба даст оварда шавад, аммо истифодаи манбаи бухоршавӣ барои баланд бардоштани ҳарорати равиш камбудиҳои худро дорад: фишори қабати мембрана хеле калон аст; гази плёнка-хосилкунанда ба осонй пусида мешавад. Пас, баъзан зиёд кардани майдони манбаи бухоршавӣ аз беҳтар намудани ҳарорати манбаи бухоршавӣ бештар мусоид аст.
(3) ҳарорати субстрат. Баланд бардоштани ҳарорати субстрат барои адсорбсия дар сатҳи субстрат молекулаҳои боқимондаи газ барои истисно кардан, зиёд кардани субстрат ва қувваи ҳатмии байни молекулаҳои гузошташуда мусоидат мекунад: ҳамзамон ба табдили адсорбсияи физикӣ ба адсорбсияи химиявӣ мусоидат мекунад, таъсири мутақобилаи байни молекулаҳоро тақвият медиҳад, то сохтори қабати мембрана зич бошад. Масалан, Mg, мембрана, гармкунии субстрат то 250 ~ 300 ℃ метавонад фишори дохилиро кам кунад, зичии агрегатсияро беҳтар кунад, сахтии қабати мембранаро зиёд кунад: гармии қабати мембрана то 120 ~ 150 ℃ омода карда шудааст Zr03-Si02, мембранаи бисёрқабата, қувваи механикии он боиси зиёд шудани ҳарорати қабати субстрат мегардад, аммо қабати дефоттерии мембрана хеле баланд мешавад.
(4) Бомбгузории ион. Бомбгузории ионҳо ба ташаккули сатҳҳои хеле когезивӣ, ноҳамворӣ, оксидшавӣ ва зичии агрегатсия таъсир мерасонад. Дар бомбаборон пеш аз молидани метавонад сатҳи пок ва баланд бардоштани часпак; бомбаборонкунӣ пас аз пӯшиш метавонад зичии ҷамъшавии қабати плёнка ва ғайраро беҳтар созад, ба ин васила қувват ва сахтии механикиро зиёд кунад.
(5) Тоза кардани субстрат. Усули тоза кардани субстрат мувофиқ нест ё тоза нест, дар оксидҳои боқимонда ё агенти тозакунанда, пас боиси ифлосшавии нав, дар рӯйпӯш кардани шароити ҳамбастагии гуногун ва пайвастагӣ, ба қабати якуми хосиятҳои сохторӣ ва ғафсии оптикӣ таъсир мерасонад, балки инчунин қабати плёнкаро аз субстрат берун кардан осон аст, бинобар ин хусусияти қабати филмро тағир медиҳад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти интишор: май-04-2024