1. Технологияи таҳшинсозии чӯби Ion бо пайвастшавии қавӣ байни мембрана ва оксиген тавсиф мешавад, қабати мембрана хеле қавӣ аст. Таҷрибаҳо нишон медиҳанд, ки: таҳшиншавии часпак бо ёрии ионҳо нисбат ба адгезияи таҳшиншавии буғи гармӣ аз чанд маротиба то садҳо маротиба зиёд мешавад, сабабаш асосан бо бомбаборони ионҳо дар сатҳи эффекти тозакунӣ мебошад, то интерфейси пойгоҳи мембрана сохтори градиентии интерфасиалӣ ё қабати гузариши гибридӣ, инчунин коҳиш додани фишори мембранаро ташкил диҳад.
2. Ion чӯбро ёрирасони таҳшин метавонад хосиятҳои механикии филм беҳтар, дароз ҳаёти хастагӣ, хеле мувофиқ барои омода намудани оксидҳои, carbides, мукааб BN, TiB2, ва coatings-алмос монанд. Масалан, дар 1Cr18Ni9Ti пӯлоди ба гармӣ тобовар оид ба истифодаи технологияи таҳшинсозии ион-чӯбро барои парвариши филми 200nm Si3N4, на танҳо метавонад пайдоиши тарқишҳои хастагӣ дар рӯи маводро боздорад, балки инчунин суръати паҳншавии тарқишҳои хастаро ба таври назаррас коҳиш диҳад, барои дароз кардани ҳаёти он нақши хуб дорад.
3. Ҷойгиркунии чӯби ионӣ метавонад табиати фишори филмро тағир диҳад ва сохтори кристаллии онро тағир диҳад. Масалан, тайёр кардани филми Cr бо 11,5кеВ Xe + ё Ar + бомбаборони сатҳи субстрат, муайян кард, ки танзими ҳарорати субстрат, энергияи ионҳои бомбаборон, ионҳо ва атомҳо барои расидан ба таносуби параметрҳо, метавонад стрессро аз фишори кашиш ба фишори фишурда созад, сохтори кристаллии филм низ тағирот ба вуҷуд меорад. Дар доираи таносуби муайяни расидани ион ба атом, таҳшиншавии чӯби ионҳо нисбат ба қабати мембрана, ки дар натиҷаи таҳшиншавии буғи гармӣ ҷойгир шудааст, самти беҳтари интихобӣ дорад.
4.Ion чӯберо, ки бо ёрии таҳшинкунӣ метавонад муқовимат ба зангзанӣ ва муқовимати оксидшавии мембранаро афзоиш диҳад. Аз сабаби зичии таҳшиншавии чӯби ионии қабати плёнка, беҳтар шудани сохтори интерфейси асоси филм ё ташаккули ҳолати аморфӣ, ки дар натиҷаи аз байн рафтани сарҳадҳои донаҳои байни зарраҳо ба вуҷуд омадааст, ки барои баланд бардоштани муқовимати зангзании мавод ва муқовимат ба оксидшавии ҳарорати баланд мусоидат мекунад.
5. Ҷойгиршавии чӯби ионӣ метавонад хосиятҳои электромагнитии филмро тағир диҳад ва иҷрои филмҳои тунуки оптикиро беҳтар созад.
6. Ҷойгиркунии бо ёрии ион имкон медиҳад, ки параметрҳои марбут ба таҳшини атомӣ ва имплантатсияи ионҳо дуруст ва мустақилона танзим карда шаванд ва имкон медиҳад, ки қабатҳои пайдарпайи чанд микрометр бо таркиби пайваста дар энергияи ками бомбаборон ҳосил карда шаванд, то плёнкаҳои тунук дар ҳарорати хонагӣ парвариш карда шаванд ва аз таъсири манфии маводҳо ё қисмҳои дақиқи ҳарорати онҳо коркардшуда пешгирӣ карда шаванд.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: январ-24-2024