వాక్యూమ్ కోటింగ్ పరికరాల వర్గీకరణలు ఏమిటి?

వాక్యూమ్ కోటింగ్ టెక్నాలజీ అనేది ఎలక్ట్రానిక్స్, ఆప్టిక్స్, ప్యాకేజింగ్, డెకరేషన్ మరియు ఇతర రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడే వాక్యూమ్ వాతావరణంలో సబ్‌స్ట్రేట్ పదార్థాల ఉపరితలంపై సన్నని ఫిల్మ్ పదార్థాలను జమ చేసే సాంకేతికత. వాక్యూమ్ కోటింగ్ పరికరాలను ప్రధానంగా ఈ క్రింది రకాలుగా విభజించవచ్చు:

1. థర్మల్ బాష్పీభవన పూత పరికరాలు: ఇది అత్యంత సాంప్రదాయ వాక్యూమ్ పూత పద్ధతి, బాష్పీభవన పడవలోని సన్నని పొర పదార్థాన్ని వేడి చేయడం ద్వారా, పదార్థం ఆవిరైపోతుంది మరియు ఉపరితల పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై జమ చేయబడుతుంది.
2. స్పట్టరింగ్ పూత పరికరాలు: లక్ష్య పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపైకి అధిక-శక్తి అయాన్‌లను ఉపయోగించి, లక్ష్య పదార్థ అణువులను చిమ్ముతారు మరియు ఉపరితల పదార్థంలో జమ చేస్తారు. మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ అనేది భారీ ఉత్పత్తికి అనువైన ఫిల్మ్ యొక్క మరింత ఏకరీతి మరియు బలమైన సంశ్లేషణను పొందగలదు.
3.అయాన్ బీమ్ నిక్షేపణ పరికరాలు: అయాన్ బీమ్‌లను సబ్‌స్ట్రేట్‌పై సన్నని ఫిల్మ్ పదార్థాలను జమ చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు. ఈ పద్ధతి చాలా ఏకరీతి ఫిల్మ్‌లను పొందగలదు మరియు అధిక ఖచ్చితత్వ అవసరాలు ఉన్న సందర్భాలలో అనుకూలంగా ఉంటుంది, కానీ పరికరాల ధర ఎక్కువగా ఉంటుంది.
4. కెమికల్ వేపర్ డిపాజిషన్ (CVD) పరికరాలు: రసాయన ప్రతిచర్య ద్వారా ఉపరితల పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై సన్నని పొరలను ఏర్పరుస్తుంది. ఈ పద్ధతి అధిక-నాణ్యత, బహుళ-జాతుల పొరలను తయారు చేయగలదు, కానీ పరికరాలు సంక్లిష్టమైనవి మరియు ఖరీదైనవి.
5. మాలిక్యులర్ బీమ్ ఎపిటాక్సీ (MBE) పరికరాలు: ఇది పరమాణు స్థాయిలో సన్నని పొరల పెరుగుదలను నియంత్రించే పద్ధతి మరియు దీనిని ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ మరియు నానోటెక్నాలజీ అనువర్తనాల కోసం అల్ట్రా-సన్నని పొరలు మరియు బహుళస్థాయి నిర్మాణాల తయారీకి ఉపయోగిస్తారు.
6. ప్లాస్మా ఎన్హాన్స్డ్ కెమికల్ వేపర్ డిపాజిషన్ (PECVD) పరికరాలు: ఇది రసాయన ప్రతిచర్య ద్వారా సన్నని పొరల నిక్షేపణను పెంచడానికి ప్లాస్మాను ఉపయోగించే ఒక సాంకేతికత, ఇది తక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద సన్నని పొరల వేగవంతమైన ఏర్పాటుకు వీలు కల్పిస్తుంది.
7. పల్స్డ్ లేజర్ డిపాజిషన్ (PLD) పరికరాలు: ఇవి లక్ష్యాన్ని చేధించడానికి అధిక-శక్తి లేజర్ పల్స్‌లను ఉపయోగిస్తాయి, లక్ష్య ఉపరితలం నుండి పదార్థాన్ని ఆవిరి చేసి, దానిని ఉపరితలంపై జమ చేస్తాయి మరియు అధిక-నాణ్యత, సంక్లిష్టమైన ఆక్సైడ్ ఫిల్మ్‌లను పెంచడానికి అనుకూలంగా ఉంటాయి.
ఈ పరికరాల్లో ప్రతి ఒక్కటి డిజైన్ మరియు ఆపరేషన్‌లో దాని స్వంత లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి మరియు వివిధ పారిశ్రామిక అనువర్తనాలు మరియు పరిశోధన రంగాలకు అనుకూలంగా ఉంటాయి. సాంకేతికత అభివృద్ధితో, వాక్యూమ్ కోటింగ్ టెక్నాలజీ కూడా అభివృద్ధి చెందుతోంది మరియు కొత్త వాక్యూమ్ కోటింగ్ పరికరాలు కూడా ఉద్భవిస్తున్నాయి.

–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ పూత యంత్రంతయారీదారు గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా