అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీ

1. అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీ పొర మరియు ఉపరితలం మధ్య బలమైన సంశ్లేషణ ద్వారా వర్గీకరించబడుతుంది, పొర పొర చాలా బలంగా ఉంటుంది. ప్రయోగాలు ఇలా చూపిస్తున్నాయి: అయాన్ బీమ్-సహాయక సంశ్లేషణ నిక్షేపణ ఉష్ణ ఆవిరి నిక్షేపణ యొక్క సంశ్లేషణ కంటే అనేక రెట్లు వందల రెట్లు పెరిగింది, దీనికి కారణం ప్రధానంగా శుభ్రపరిచే ప్రభావం యొక్క ఉపరితలంపై అయాన్ బాంబు దాడి కారణంగా ఉంది, తద్వారా మెమ్బ్రేన్ బేస్ ఇంటర్‌ఫేస్ ప్రవణత ఇంటర్‌ఫేషియల్ స్ట్రక్చర్ లేదా హైబ్రిడ్ ట్రాన్సిషన్ లేయర్‌ను ఏర్పరుస్తుంది, అలాగే పొర ఒత్తిడిని తగ్గించడానికి.

2. అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ ఫిల్మ్ యొక్క యాంత్రిక లక్షణాలను మెరుగుపరుస్తుంది, అలసట జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది, ఆక్సైడ్లు, కార్బైడ్లు, క్యూబిక్ BN, TiB2 మరియు డైమండ్ లాంటి పూతల తయారీకి చాలా అనుకూలంగా ఉంటుంది. ఉదాహరణకు, 1Cr18Ni9Ti వేడి-నిరోధక స్టీల్‌లో 200nm Si3N4 ఫిల్మ్‌ను పెంచడానికి అయాన్-బీమ్-సహాయక డిపాజిషన్ టెక్నాలజీని ఉపయోగించడం ద్వారా, పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై అలసట పగుళ్లు ఏర్పడకుండా నిరోధించడమే కాకుండా, అలసట పగుళ్ల వ్యాప్తి రేటును గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది, దాని జీవితాన్ని పొడిగించడానికి మంచి పాత్ర ఉంది.

3. అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ ఫిల్మ్ యొక్క ఒత్తిడి స్వభావాన్ని మార్చగలదు మరియు దాని స్ఫటికాకార నిర్మాణం మారుతుంది. ఉదాహరణకు, సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలం యొక్క 11.5keV Xe + లేదా Ar + బాంబర్డ్‌మెంట్‌తో Cr ఫిల్మ్ తయారీ, సబ్‌స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత, బాంబర్డ్‌మెంట్ అయాన్ శక్తి, అయాన్లు మరియు అణువుల పారామితుల నిష్పత్తిని చేరుకోవడానికి సర్దుబాటు చేయడం వలన తన్యత ఒత్తిడి నుండి సంపీడన ఒత్తిడికి ఒత్తిడి ఏర్పడుతుందని కనుగొన్నారు, ఫిల్మ్ యొక్క స్ఫటికాకార నిర్మాణం కూడా మార్పులను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. ఒక నిర్దిష్ట అయాన్-టు-అటామ్ రాక నిష్పత్తిలో, అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ ఉష్ణ ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా జమ చేయబడిన పొర పొర కంటే మెరుగైన ఎంపిక ధోరణిని కలిగి ఉంటుంది.

4.అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ పొర యొక్క తుప్పు నిరోధకత మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకతను పెంచుతుంది.ఫిల్మ్ పొర యొక్క అయాన్ బీమ్-సహాయక నిక్షేపణ సాంద్రత కారణంగా, ఫిల్మ్ బేస్ ఇంటర్‌ఫేస్ నిర్మాణం మెరుగుదల లేదా కణాల మధ్య గ్రెయిన్ సరిహద్దులు అదృశ్యం కావడం వల్ల ఏర్పడే నిరాకార స్థితి ఏర్పడటం, ఇది పదార్థం యొక్క తుప్పు నిరోధకతను పెంచడానికి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత యొక్క ఆక్సీకరణను నిరోధించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.

5. అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ ఫిల్మ్ యొక్క విద్యుదయస్కాంత లక్షణాలను మార్చగలదు మరియు ఆప్టికల్ థిన్ ఫిల్మ్‌ల పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది.

6. అయాన్-సహాయక నిక్షేపణ అణు నిక్షేపణ మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్‌కు సంబంధించిన పారామితుల యొక్క ఖచ్చితమైన మరియు స్వతంత్ర సర్దుబాటును అనుమతిస్తుంది మరియు తక్కువ బాంబర్డ్‌మెంట్ శక్తి వద్ద స్థిరమైన కూర్పుతో కొన్ని మైక్రోమీటర్ల పూతలను వరుసగా ఉత్పత్తి చేయడానికి అనుమతిస్తుంది, తద్వారా వివిధ సన్నని ఫిల్మ్‌లను గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద పెంచవచ్చు, అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పదార్థాలను చికిత్స చేయడం వల్ల కలిగే ప్రతికూల ప్రభావాలను నివారించవచ్చు లేదా ఖచ్చితమైన భాగాలపై ఉండవచ్చు.

–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా