வெற்றிட பூச்சு தொழில்நுட்பம் என்பது வெற்றிட சூழலில் அடி மூலக்கூறு பொருட்களின் மேற்பரப்பில் மெல்லிய படலப் பொருட்களைப் படிவு செய்யும் ஒரு தொழில்நுட்பமாகும், இது மின்னணுவியல், ஒளியியல், பேக்கேஜிங், அலங்காரம் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்களை முக்கியமாக பின்வரும் வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்:
1. வெப்ப ஆவியாதல் பூச்சு உபகரணங்கள்: இது மிகவும் பாரம்பரியமான வெற்றிட பூச்சு முறையாகும், ஆவியாதல் படகில் உள்ள மெல்லிய படலப் பொருளை சூடாக்குவதன் மூலம், பொருள் ஆவியாகி அடி மூலக்கூறு பொருளின் மேற்பரப்பில் வைக்கப்படுகிறது.
2. தெளித்தல் பூச்சு உபகரணங்கள்: இலக்குப் பொருளின் மேற்பரப்பைத் தாக்க உயர் ஆற்றல் அயனிகளைப் பயன்படுத்தி, இலக்குப் பொருள் அணுக்கள் சிதறடிக்கப்பட்டு அடி மூலக்கூறுப் பொருளில் டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன. மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங், வெகுஜன உற்பத்திக்கு ஏற்ற, படத்தின் சீரான மற்றும் வலுவான ஒட்டுதலைப் பெற முடியும்.
3. அயன் கற்றை படிவு உபகரணங்கள்: அயன் கற்றைகள் மெல்லிய படலப் பொருட்களை அடி மூலக்கூறின் மீது வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த முறை மிகவும் சீரான படலங்களைப் பெற முடியும் மற்றும் அதிக துல்லியத் தேவைகளைக் கொண்ட சந்தர்ப்பங்களுக்கு ஏற்றது, ஆனால் உபகரண விலை அதிகமாக உள்ளது.
4. வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) உபகரணங்கள்: ஒரு வேதியியல் எதிர்வினை மூலம் அடி மூலக்கூறு பொருளின் மேற்பரப்பில் மெல்லிய படலங்களை உருவாக்குகிறது. இந்த முறை உயர்தர, பல இனங்கள் கொண்ட படலங்களைத் தயாரிக்க முடியும், ஆனால் உபகரணங்கள் சிக்கலானவை மற்றும் விலை உயர்ந்தவை.
5. மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி (MBE) உபகரணங்கள்: இது அணு மட்டத்தில் மெல்லிய படலங்களின் வளர்ச்சியைக் கட்டுப்படுத்தும் ஒரு முறையாகும், மேலும் இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி மற்றும் நானோ தொழில்நுட்ப பயன்பாடுகளுக்கான மிக மெல்லிய அடுக்குகள் மற்றும் பல அடுக்கு கட்டமைப்புகளைத் தயாரிப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
6. பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு (PECVD) உபகரணங்கள்: இது ஒரு வேதியியல் எதிர்வினை மூலம் மெல்லிய படலங்களின் படிவை மேம்படுத்த பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தும் ஒரு நுட்பமாகும், இது குறைந்த வெப்பநிலையில் மெல்லிய படலங்களை விரைவாக உருவாக்க அனுமதிக்கிறது.
7. பல்ஸ்டு லேசர் டெபாசிஷன் (PLD) சாதனங்கள்: இவை உயர் ஆற்றல் கொண்ட லேசர் துடிப்புகளைப் பயன்படுத்தி இலக்கைத் தாக்கி, இலக்கு மேற்பரப்பில் இருந்து பொருளை ஆவியாக்கி, ஒரு அடி மூலக்கூறில் வைப்பதோடு, உயர்தர, சிக்கலான ஆக்சைடு படலங்களை வளர்ப்பதற்கு ஏற்றவை.
இந்த சாதனங்கள் ஒவ்வொன்றும் வடிவமைப்பு மற்றும் செயல்பாட்டில் அதன் சொந்த குணாதிசயங்களைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் பல்வேறு தொழில்துறை பயன்பாடுகள் மற்றும் ஆராய்ச்சி பகுதிகளுக்கு ஏற்றது. தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியுடன், வெற்றிட பூச்சு தொழில்நுட்பமும் முன்னேறி வருகிறது, மேலும் புதிய வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்களும் உருவாகி வருகின்றன.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திரம்உற்பத்தியாளர் குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: ஜூன்-12-2024