1. அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு தொழில்நுட்பம் சவ்வுக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான வலுவான ஒட்டுதலால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது, சவ்வு அடுக்கு மிகவும் வலுவானது. பரிசோதனைகள் காட்டுகின்றன: வெப்ப நீராவி படிவின் ஒட்டுதலை விட அயன் கற்றை உதவியுடன் ஒட்டுதல் படிவு பல மடங்கு முதல் நூற்றுக்கணக்கான மடங்கு வரை அதிகரித்துள்ளது, காரணம் முக்கியமாக சுத்தம் செய்யும் விளைவின் மேற்பரப்பில் அயனி குண்டுவீச்சு காரணமாகும், இதனால் சவ்வு அடிப்படை இடைமுகம் சாய்வு இடைமுக அமைப்பு அல்லது கலப்பின மாற்ற அடுக்கை உருவாக்குகிறது, அத்துடன் சவ்வு அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது.
2. அயன் கற்றை உதவியுடன் படிதல் படத்தின் இயந்திர பண்புகளை மேம்படுத்தலாம், சோர்வு ஆயுளை நீட்டிக்கலாம், ஆக்சைடுகள், கார்பைடுகள், கனசதுர BN, TiB2 மற்றும் வைரம் போன்ற பூச்சுகளை தயாரிப்பதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது. எடுத்துக்காட்டாக, 1Cr18Ni9Ti வெப்ப-எதிர்ப்பு எஃகில் 200nm Si3N4 படலத்தை வளர்ப்பதற்கு அயன்-கற்றை உதவியுடன் படிவு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவது, பொருளின் மேற்பரப்பில் சோர்வு விரிசல்கள் தோன்றுவதைத் தடுப்பது மட்டுமல்லாமல், சோர்வு விரிசல் பரவலின் விகிதத்தைக் கணிசமாகக் குறைக்கவும் முடியும், அதன் ஆயுளை நீட்டிக்க ஒரு நல்ல பங்கைக் கொண்டுள்ளது.
3. அயன் கற்றை உதவியுடன் படிதல் படலத்தின் அழுத்த தன்மையை மாற்றும் மற்றும் அதன் படிக அமைப்பு மாறுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் 11.5keV Xe + அல்லது Ar + தாக்குதலுடன் Cr படலத்தைத் தயாரிப்பது, அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை, தாக்குதலுக்கு அயனி ஆற்றல், அயனிகள் மற்றும் அணுக்கள் அளவுருக்களின் விகிதத்தை அடைவதற்கான சரிசெய்தல், இழுவிசை அழுத்தத்திலிருந்து அமுக்க அழுத்தத்திற்கு அழுத்தத்தை உருவாக்க முடியும் என்பதைக் கண்டறிந்தது, படலத்தின் படிக அமைப்பும் மாற்றங்களை உருவாக்கும். ஒரு குறிப்பிட்ட அயனி-க்கு-அணு வருகை விகிதத்தின் கீழ், அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு வெப்ப நீராவி படிவால் படிவு செய்யப்பட்ட சவ்வு அடுக்கை விட சிறந்த தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட நோக்குநிலையைக் கொண்டுள்ளது.
4. அயன் கற்றை உதவியுடன் படிதல் சவ்வின் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பை அதிகரிக்கலாம். பட அடுக்கின் அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு அடர்த்தி காரணமாக, பட அடிப்படை இடைமுக அமைப்பு மேம்பாடு அல்லது துகள்களுக்கு இடையில் உள்ள தானிய எல்லைகள் மறைவதால் ஏற்படும் உருவமற்ற நிலை உருவாக்கம், இது பொருளின் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துவதற்கும் அதிக வெப்பநிலையின் ஆக்சிஜனேற்றத்தை எதிர்ப்பதற்கும் உகந்ததாகும்.
5. அயன் கற்றை உதவியுடன் படிதல் படத்தின் மின்காந்த பண்புகளை மாற்றி ஒளியியல் மெல்லிய படலங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்தும்.
6. அயன்-உதவி படிவு, அணு படிவு மற்றும் அயனி பொருத்துதல் தொடர்பான அளவுருக்களை துல்லியமாகவும் சுயாதீனமாகவும் சரிசெய்ய அனுமதிக்கிறது, மேலும் குறைந்த வெடிப்பு ஆற்றல்களில் நிலையான கலவையுடன் சில மைக்ரோமீட்டர்களின் தொடர்ச்சியான பூச்சுகளை உருவாக்க அனுமதிக்கிறது, இதனால் பல்வேறு மெல்லிய படலங்களை அறை வெப்பநிலையில் வளர்க்க முடியும், உயர்ந்த வெப்பநிலையில் அவற்றைச் செயலாக்குவதால் பொருட்கள் அல்லது துல்லியமான பாகங்கள் மீது ஏற்படக்கூடிய பாதகமான விளைவுகளைத் தவிர்க்கலாம்.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: ஜனவரி-24-2024