Teknolojia ya mipako ya utupu ni teknolojia ambayo huweka nyenzo za filamu nyembamba kwenye uso wa nyenzo za substrate chini ya mazingira ya utupu, ambayo hutumiwa sana katika umeme, optics, ufungaji, mapambo na nyanja nyingine. Vifaa vya mipako ya utupu vinaweza kugawanywa katika aina zifuatazo:
1. Vifaa vya mipako ya uvukizi wa joto: hii ndiyo njia ya jadi ya mipako ya utupu, kwa kupokanzwa nyenzo nyembamba za filamu kwenye mashua ya uvukizi, nyenzo hiyo hutolewa na kuwekwa kwenye uso wa nyenzo za substrate.
2. Vifaa vya mipako ya kunyunyiza: kwa kutumia ioni za nishati ya juu kugonga uso wa nyenzo inayolengwa, atomi za nyenzo zinazolengwa hutawanywa na kuwekwa kwenye nyenzo za substrate. Magnetron sputtering inaweza kupata sare zaidi na nguvu kujitoa ya filamu, yanafaa kwa ajili ya uzalishaji wa habari.
3. Vifaa vya kuweka boriti ya Ion: Mihimili ya ioni hutumiwa kuweka nyenzo nyembamba za filamu kwenye substrate. Njia hii inaweza kupata filamu zinazofanana sana na inafaa kwa hafla zilizo na mahitaji ya usahihi wa hali ya juu, lakini gharama ya vifaa ni kubwa.
4. Vifaa vya Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali (CVD): Hutengeneza filamu nyembamba kwenye uso wa nyenzo za substrate kupitia mmenyuko wa kemikali. Njia hii inaweza kuandaa filamu za ubora wa juu, za aina nyingi, lakini vifaa ni ngumu na vya gharama kubwa.
5. Vifaa vya Molecular Beam Epitaxy (MBE): Hii ni njia ya kudhibiti ukuaji wa filamu nyembamba katika kiwango cha atomiki na hutumiwa hasa kwa utayarishaji wa tabaka nyembamba zaidi na miundo ya safu nyingi kwa matumizi ya semiconductor na nanoteknolojia.
6. Vifaa vya Plasma Kuimarishwa kwa Mvuke wa Kemikali (PECVD): Hii ni mbinu inayotumia plasma ili kuimarisha uwekaji wa filamu nyembamba kwa mmenyuko wa kemikali, kuruhusu uundaji wa haraka wa filamu nyembamba kwenye joto la chini.
7. Vifaa vya Kuweka Laser Iliyopigwa (PLD): Hivi hutumia mipigo ya leza yenye nishati nyingi kugonga shabaha, kuyeyusha nyenzo kutoka kwenye sehemu inayolengwa na kuiweka kwenye substrate, na zinafaa kwa ukuzaji wa filamu changamano za oksidi za ubora wa juu.
Kila moja ya vifaa hivi ina sifa zake katika kubuni na uendeshaji na inafaa kwa matumizi tofauti ya viwanda na maeneo ya utafiti. Pamoja na maendeleo ya teknolojia, teknolojia ya mipako ya utupu pia inaendelea, na vifaa vipya vya mipako ya utupu pia vinajitokeza.
- Nakala hii imetolewa namashine ya mipako ya utupumtengenezaji Guangdong Zhenhua
Muda wa kutuma: Juni-12-2024
