Mchakato wa Njia za Kuboresha Nguvu ya Kimitambo ya Tabaka la Filamu

Tabia za mitambo ya safu ya membrane huathiriwa na mshikamano, mkazo, wiani wa mkusanyiko, nk Kutoka kwa uhusiano kati ya nyenzo za safu ya membrane na mambo ya mchakato, inaweza kuonekana kwamba ikiwa tunataka kuboresha nguvu ya mitambo ya safu ya membrane, tunapaswa kuzingatia vigezo vya mchakato wafuatayo:

(1) kiwango cha utupu. Ombwe juu ya utendaji wa filamu ni dhahiri sana. Viashiria vingi vya utendaji wa safu ya filamu hutegemea sana kiwango cha utupu. Kawaida, kiwango cha utupu kinapoongezeka, wiani wa mkusanyiko wa filamu huongezeka, uimara huongezeka, muundo wa filamu unaboreshwa, utungaji wa kemikali unakuwa safi, lakini wakati huo huo dhiki pia huongezeka.

(2) Kiwango cha uwekaji. Kuboresha kiwango cha utuaji si tu inaweza kutumika kuboresha kiwango cha uvukizi, yaani, kuongeza uvukizi chanzo joto mbinu, pia inaweza kutumika kuongeza uvukizi chanzo eneo mbinu kufikia, lakini matumizi ya chanzo uvukizi kuongeza joto ya mbinu ina vikwazo vyake: kufanya utando safu mkazo ni kubwa mno; gesi ya kutengeneza filamu ni rahisi kuoza. Hivyo wakati mwingine kuongeza uvukizi chanzo eneo kuliko kuboresha joto chanzo uvukizi ni nzuri zaidi.

(3) substrate joto. Kuongeza joto substrate ni mazuri kwa adsorption juu ya uso substrate ya molekuli gesi iliyobaki kuwatenga, kuongeza substrate na nguvu kisheria kati ya molekuli zilizoingia: wakati huo huo kukuza uongofu wa adsorption kimwili kwa adsorption kemikali, kuongeza mwingiliano kati ya molekuli, ili muundo wa safu ya utando ni tight. Kwa mfano, Mg, utando, substrate inapokanzwa hadi 250 ~ 300 ℃ inaweza kupunguza dhiki ya ndani, kuboresha msongamano wa mkusanyiko, kuongeza ugumu wa safu ya utando: substrate inapokanzwa hadi 120 ~ 150 ℃ tayari Zr03-Si02, utando multilayer, nguvu yake ya mitambo iliongezeka sana, lakini substrate safu ya joto itapungua sana.

(4) Mabomu ya ion. Mlipuko wa ioni huathiri uundaji wa nyuso zenye mshikamano mkubwa, ukali wa uso, uoksidishaji na msongamano wa mkusanyiko. Bombardment kabla ya mipako inaweza kusafisha uso na kuongeza kujitoa; bombardment baada ya mipako inaweza kuboresha safu ya filamu kuwakusanya wiani, nk, hivyo kuongeza nguvu mitambo na ugumu.

(5) Kusafisha substrate. Substrate kusafisha njia si sahihi au si safi, katika substrate uchafu mabaki au wakala kusafisha, basi kusababisha uchafuzi mpya, katika mipako ya hali tofauti mshikamano na kujitoa, na kuathiri safu ya kwanza ya mali ya kimuundo na unene wa macho, lakini pia kufanya safu ya filamu ni rahisi kuja mbali na substrate, hivyo kubadilisha sifa za safu ya filamu.

- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua