Vakuumbeläggningsteknik är en teknik som avsätter tunna filmmaterial på ytan av substratmaterial under vakuummiljö, vilket används flitigt inom elektronik, optik, förpackning, dekoration och andra områden. Vakuumbeläggningsutrustning kan huvudsakligen delas in i följande typer:
1. Termisk avdunstningsbeläggningsutrustning: detta är den mest traditionella vakuumbeläggningsmetoden. Genom att värma upp det tunna filmmaterialet i avdunstningsbåten avdunstas materialet och avsätts på substratmaterialets yta.
2. Utrustning för sputtering: Med hjälp av högenergijoner som träffar målmaterialets yta sputteras målmaterialets atomer och avsätts på substratmaterialet. Magnetronsputtring kan ge en jämnare och starkare vidhäftning av filmen, lämplig för massproduktion.
3. Utrustning för jonstråledeponering: Jonstrålar används för att deponera tunnfilmsmaterial på substratet. Denna metod kan erhålla mycket enhetliga filmer och är lämplig för tillfällen med höga precisionskrav, men utrustningskostnaden är hög.
4. Utrustning för kemisk ångdeponering (CVD): Bildar tunna filmer på ytan av substratmaterialet genom en kemisk reaktion. Denna metod kan framställa högkvalitativa filmer med flera arter, men utrustningen är komplex och kostsam.
5. Utrustning för molekylärstråleepitaxi (MBE): Detta är en metod för att kontrollera tillväxten av tunna filmer på atomnivå och används huvudsakligen för framställning av ultratunna lager och flerskiktsstrukturer för halvledar- och nanotekniktillämpningar.
6. Plasmaförstärkt kemisk ångdeponeringsutrustning (PECVD): Detta är en teknik som använder plasma för att förbättra deponeringen av tunna filmer genom en kemisk reaktion, vilket möjliggör snabb bildning av tunna filmer vid lägre temperaturer.
7. Pulserad laserdeponering (PLD)-enheter: Dessa använder högenergilaserpulser för att träffa ett mål, avdunsta material från målytan och avsätta det på ett substrat, och är lämpliga för att odla högkvalitativa, komplexa oxidfilmer.
Var och en av dessa anordningar har sina egna egenskaper vad gäller design och funktion och är lämpliga för olika industriella tillämpningar och forskningsområden. I takt med teknikutvecklingen går även vakuumbeläggningstekniken framåt, och ny vakuumbeläggningsutrustning dyker också upp.
–Denna artikel är publicerad avvakuumbeläggningsmaskintillverkare Guangdong Zhenhua
Publiceringstid: 12 juni 2024