Membranlagrets mekaniska egenskaper påverkas av vidhäftning, spänning, aggregeringsdensitet etc. Från förhållandet mellan membranlagrets material och processfaktorer kan man se att om vi vill förbättra membranlagrets mekaniska hållfasthet bör vi fokusera på följande processparametrar:
(1) Vakuumnivå. Vakuum påverkar filmens prestanda mycket tydligt. De flesta prestandaindikatorerna för filmlagret är mycket beroende av vakuumnivån. Vanligtvis, när vakuumgraden ökar, ökar filmens aggregeringsdensitet, fastheten ökar, filmens struktur förbättras, den kemiska sammansättningen blir renare, men samtidigt ökar även spänningen.
(2) Avlagringshastighet. Att förbättra avlagringshastigheten kan inte bara användas för att förbättra avdunstningshastigheten, det vill säga att öka avlagringskällans temperatur, utan det kan också användas för att öka avlagringskällans area. Att använda avlagringskällan för att öka temperaturen har också sina nackdelar: spänningen i membranskiktet blir för stor; den filmbildande gasen bryts lätt ner. Därför är det ibland mer fördelaktigt att öka avlagringskällans area än att förbättra avlagringskällans temperatur.
(3) Substrattemperatur. Att öka substrattemperaturen bidrar till att adsorptionen av återstående gasmolekyler på substratytan exkluderar, vilket ökar substratets och bindningskraftens förmåga mellan de avsatta molekylerna: samtidigt främjas omvandlingen av fysisk adsorption till kemisk adsorption, vilket förbättrar interaktionen mellan molekylerna och gör membranskiktets struktur tät. Till exempel kan Mg-membransubstratuppvärmning till 250 ~ 300 ℃ minska den inre spänningen, förbättra aggregeringstätheten och öka membranskiktets hårdhet: substratuppvärmning till 120 ~ 150 ℃ för flerskiktsmembran med Zr03-Si02 ökar dess mekaniska hållfasthet avsevärt, men en för hög substrattemperatur försämrar membranskiktet.
(4) Jonbombardemang. Jonbombardemang påverkar bildandet av högkohesiva ytor, ytjämnheter, oxidation och aggregeringsdensitet. Bombardemang före beläggning kan rengöra ytan och öka vidhäftningen; bombardemang efter beläggning kan förbättra filmskiktets aggregeringsdensitet etc., vilket ökar den mekaniska hållfastheten och hårdheten.
(5) Substratrengöring. Substratrengöringsmetoden är felaktig eller inte ren, vilket orsakar kvarvarande föroreningar eller rengöringsmedel i substratet, vilket orsakar nya föroreningar och olika kohesionsförhållanden och vidhäftning i beläggningen. Detta påverkar det första lagrets strukturella egenskaper och optiska tjocklek, men gör det också lätt att lossna från substratet och förändrar filmlagrets egenskaper.
–Denna artikel är publicerad avtillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publiceringstid: 4 maj 2024