Téknologi palapis vakum mangrupikeun téknologi anu nyimpen bahan pilem ipis dina permukaan bahan substrat dina lingkungan vakum, anu seueur dianggo dina éléktronika, optik, bungkusan, hiasan sareng widang sanésna. alat-alat palapis vakum bisa utamana dibagi kana jenis handap:
1. alat-alat palapis évaporasi termal: ieu métode palapis vakum paling tradisional, ku manaskeun bahan pilem ipis dina kapal évaporasi, bahan ieu ngejat sarta disimpen onto beungeut bahan substrat.
2. Sputtering parabot palapis: ngagunakeun ion tinggi-énergi ka pencét beungeut bahan target, atom bahan target anu sputtered sarta disimpen kana bahan substrat. Magnetron sputtering téh bisa ménta leuwih seragam jeung adhesion kuat film, cocog pikeun produksi masal.
3.Ion beam parabot déposisi: Ion balok dipaké pikeun deposit bahan pilem ipis onto substrat. Metoda ieu bisa ménta pilem pisan seragam sarta cocog pikeun kasempetan kalawan sarat precision tinggi, tapi biaya alat tinggi.
4. Kimia Uap déposisi (CVD) Equipment: Ngabentuk film ipis dina beungeut bahan substrat ngaliwatan réaksi kimiawi. Metoda ieu tiasa nyiapkeun pilem kualitas luhur, multi-spésiés, tapi alat-alatna rumit sarta mahal.
5. Molecular Beam Epitaxy (MBE) alat: Ieu métode ngadalikeun tumuwuhna film ipis dina tingkat atom sarta utamana dipaké pikeun persiapan lapisan ultra-ipis jeung struktur multilayer pikeun semikonduktor jeung aplikasi nanotéhnologi.
6. Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) peralatan: Ieu téhnik anu ngagunakeun plasma pikeun ningkatkeun déposisi film ipis ku réaksi kimiawi, sahingga pikeun formasi gancang film ipis dina suhu nu leuwih handap.
7. Alat Pulsed Laser Deposition (PLD): Ieu ngagunakeun pulsa laser-énergi tinggi pikeun nyerang udagan, nguap bahan tina permukaan target sareng neundeunana kana substrat, sareng cocog pikeun ngembang film oksida kompleks anu kualitas luhur.
Tiap alat ieu boga ciri sorangan dina rarancang jeung operasi sarta cocog pikeun aplikasi industri béda jeung wewengkon panalungtikan. Kalayan pamekaran téknologi, téknologi palapis vakum ogé maju, sareng alat palapis vakum énggal ogé muncul.
– Tulisan ieu dikaluarkeun kumesin palapis vakumprodusén Guangdong Zhenhua
waktos pos: Jun-12-2024